♦Alúmina(Al2O3)
Las piezas cerámicas de precisión producidas por ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) pueden fabricarse con materias primas cerámicas de alta pureza, 92 ~ 97 % de alúmina, 99,5 % de alúmina, >99,9 % de alúmina y prensado isostático en frío CIP.Sinterización a alta temperatura y mecanizado de precisión, precisión dimensional de ± 0,001 mm, suavidad de hasta Ra0,1, temperatura de uso de hasta 1600 grados.Se pueden fabricar diferentes colores de cerámica según los requisitos del cliente, como: negro, blanco, beige, rojo oscuro, etc. Las piezas cerámicas de precisión producidas por nuestra empresa son resistentes a altas temperaturas, corrosión, desgaste y aislamiento, y pueden ser Se utiliza durante mucho tiempo en ambientes de alta temperatura, vacío y gases corrosivos.
Ampliamente utilizado en una variedad de equipos de producción de semiconductores: marcos (soporte cerámico), sustrato (base), brazo/puente (manipulador), componentes mecánicos y cojinetes neumáticos cerámicos.
| nombre del producto | Tubo/tubo/varilla cuadrados de cerámica de alúmina 99 de alta pureza | |||||
| Índice | Unidad | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
| Densidad | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Absorción de agua | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
| Temperatura sinterizada | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Dureza | mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Resistencia a la flexión (20 ℃)) | MPa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Fuerza compresiva | kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Temperatura de trabajo prolongada | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Máx.Temperatura de trabajo | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Resistividad de volumen | 20℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Aplicación de cerámicas de alúmina de alta pureza:
1. Aplicado a equipos semiconductores: plato de vacío de cerámica, disco de corte, disco de limpieza, plato de cerámica.
2. Piezas de transferencia de obleas: mandriles para manipulación de obleas, discos de corte de obleas, discos de limpieza de obleas, ventosas de inspección óptica de obleas.
3. Industria de pantallas planas LED / LCD: boquilla de cerámica, disco abrasivo de cerámica, PIN DE ELEVACIÓN, riel PIN.
4. Comunicación óptica, industria solar: tubos cerámicos, varillas cerámicas, raspadores cerámicos para serigrafía de placas de circuito.
5. Piezas resistentes al calor y aislantes eléctricos: rodamientos cerámicos.
En la actualidad, las cerámicas de óxido de aluminio se pueden dividir en cerámicas comunes y de alta pureza.La serie de cerámicas de óxido de aluminio de alta pureza se refiere al material cerámico que contiene más del 99,9 % de Al₂O₃.Debido a su temperatura de sinterización de hasta 1650 - 1990°C y su longitud de onda de transmisión de 1 ~ 6μm, generalmente se procesa en vidrio fundido en lugar de crisol de platino: que puede usarse como tubo de sodio debido a su transmitancia de luz y resistencia a la corrosión. metal alcalino.En la industria electrónica, se puede utilizar como material aislante de alta frecuencia para sustratos de circuitos integrados.Según los diferentes contenidos de óxido de aluminio, la serie cerámica de óxido de aluminio común se puede dividir en 99 cerámicas, 95 cerámicas, 90 cerámicas y 85 cerámicas.A veces, las cerámicas con 80% o 75% de óxido de aluminio también se clasifican como series cerámicas de óxido de aluminio comunes.Entre ellos, el material cerámico de óxido de aluminio 99 se utiliza para producir crisoles de alta temperatura, tubos de hornos ignífugos y materiales especiales resistentes al desgaste, como cojinetes cerámicos, sellos cerámicos y placas de válvulas.La cerámica de aluminio 95 se utiliza principalmente como pieza resistente a la corrosión y al desgaste.85 cerámicas a menudo se mezclan en algunas propiedades, mejorando así el rendimiento eléctrico y la resistencia mecánica.Puede utilizar molibdeno, niobio, tantalio y otros sellos metálicos, y algunos se utilizan como dispositivos eléctricos de vacío.
| Artículo de calidad (valor representativo) | nombre del producto | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Composición química Producto bajo en sodio de fácil sinterización | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Jajaja | % | 0.1 | 0,2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
| SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
| Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
| MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
| Diámetro de partícula medio (MT-3300, método de análisis láser) | µm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| Tamaño del cristal α | µm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
| Densidad de formación** | gramos/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Densidad de sinterización** | gramos/cm³ | 3,88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3,88 | 3.77 | 3.22 | |
| Tasa de contracción de la línea de sinterización** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* El MgO no se incluye en el cálculo de la pureza del Al₂O₃.
* Sin polvo incrustante 29,4 MPa (300 kg/cm²), la temperatura de sinterización es 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Agregue 0,05 ~ 0,1% de MgO, la sinterabilidad es excelente, por lo que es aplicable a cerámicas de óxido de aluminio con una pureza de más del 99%.
AES-22S: Caracterizado por una alta densidad de conformado y una baja tasa de contracción de la línea de sinterización, es aplicable a la fundición de moldes deslizantes y otros productos a gran escala con la precisión dimensional requerida.
AES-23/AES-31-03: Tiene mayor densidad de conformación, tixotropía y menor viscosidad que AES-22S.el primero se utiliza para cerámica mientras que el segundo se utiliza como reductor de agua para materiales ignífugos, ganando popularidad.
♦Características del carburo de silicio (SiC)
| Características generales | Pureza de los componentes principales (% en peso) | 97 | |
| Color | Negro | ||
| Densidad (g/cm³) | 3.1 | ||
| Absorción de agua (%) | 0 | ||
| Características mecánicas | Resistencia a la flexión (MPa) | 400 | |
| Módulo de juventud (GPa) | 400 | ||
| Dureza Vickers (GPa) | 20 | ||
| Características térmicas | Temperatura máxima de funcionamiento (°C) | 1600 | |
| Coeficiente de expansión térmica | TA~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | TA~800°C | 4.3 | |
| Conductividad térmica (W/m x K) | 130 110 | ||
| Resistencia al choque térmico ΔT (°C) | 300 | ||
| Características electricas | Resistividad de volumen | 25ºC | 3x106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| Constante dieléctrica | 10GHz | - | |
| Pérdida dieléctrica (x 10-4) | - | ||
| Factor Q (x 104) | - | ||
| Tensión de ruptura dieléctrica (KV/mm) | - | ||
♦Cerámica de nitruro de silicio
| Material | Unidad | Si₃N₄ |
| Método de sinterización | - | Sinterizado a presión de gas |
| Densidad | gramos/cm³ | 3.22 |
| Color | - | Gris oscuro |
| Tasa de absorción de agua | % | 0 |
| Módulo joven | gpa | 290 |
| Dureza Vickers | gpa | 18 - 20 |
| Fuerza compresiva | MPa | 2200 |
| Resistencia a la flexión | MPa | 650 |
| Conductividad térmica | W/mK | 25 |
| Resistencia al choque térmico | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Temperatura máxima de funcionamiento | °C | 1200 |
| Resistividad de volumen | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
| Constante dieléctrica | - | 8.2 |
| Resistencia dieléctrica | kV/mm | 16 |