La plataforma de granito, como herramienta de referencia para mediciones y procesamiento precisos, mantiene su precisión y afecta directamente la calidad de la producción. A continuación, se presenta un plan de mantenimiento sistemático que abarca el control ambiental, el mantenimiento diario y la calibración profesional para garantizar que la plataforma mantenga una precisión nanométrica a largo plazo.
1. Control ambiental: Construir una barrera de protección de precisión
Gestión de la temperatura y la humedad
La temperatura ambiente de trabajo debe estabilizarse a 20 ± 1 °C. Cada fluctuación de 1 °C provocará una deformación térmica de la plataforma de granito de 0,5 a 1 μm/m. Se puede instalar un sistema de temperatura constante en el taller para evitar que las salidas de aire acondicionado incidan directamente sobre la plataforma.
La humedad debe controlarse entre el 40 % y el 60 %. Un exceso de humedad puede oxidar fácilmente las piezas metálicas, mientras que un nivel demasiado bajo puede provocar interferencias de electricidad estática en las mediciones.
Aislamiento de vibraciones
La plataforma debe mantenerse alejada de fuentes de vibración, como máquinas de estampación y fresadoras. Se recomienda mantener una distancia de más de 3 metros con respecto a los equipos que generen vibración.
Si no se puede evitar la vibración, se pueden instalar amortiguadores de aire en la parte inferior de la plataforma para reducir el impacto de la vibración ambiental en la planitud de la plataforma (lo que puede reducir la vibración externa en más del 80%).
2. Mantenimiento diario: Control minucioso desde la limpieza hasta la protección.
Especificación de limpieza de superficies
Eliminación de polvo: Limpie la superficie con piel de ciervo o un paño sin pelusa en la misma dirección todos los días para evitar que las partículas de polvo (≥5 μm) rayen la plataforma. Las manchas difíciles pueden limpiarse suavemente con etanol anhidro (pureza ≥99,7%). No utilice disolventes fuertes como la acetona.
Desengrasante: Si entra en contacto con manchas de aceite, límpielo con un limpiador neutro diluido, luego enjuague con agua desionizada y seque al aire para evitar que el aceite mineral penetre en los pequeños poros de la plataforma.
Protección contra cargas y colisiones
La capacidad de carga de la plataforma debe controlarse dentro del 70% de la carga nominal (por ejemplo, para una plataforma de 1000 kg, se recomienda que la carga sea ≤700 kg) para evitar la deformación permanente causada por sobrecarga local.
Está estrictamente prohibido golpear las piezas de trabajo sobre la plataforma. Al manipular herramientas, utilice guantes suaves para evitar que objetos afilados rayen la superficie (los arañazos con una profundidad superior a 20 μm afectarán la medición de la trayectoria de la luz reflejada).
3. Calibración profesional: el núcleo del mantenimiento científico de la precisión
Configuración del ciclo de calibración
Escenarios de uso convencionales: calibrar una vez cada trimestre y utilizar un interferómetro láser para detectar la planitud (con una precisión de ±0,5 μm/m).
Uso de alta frecuencia o entornos hostiles: calibración mensual, con foco en el monitoreo de áreas sensibles a la temperatura (como el borde de la plataforma cerca de fuentes de calor).
Procesamiento posterior a la calibración
Si se detecta una desviación de planitud (por ejemplo, > ±1 μm/m), un técnico profesional debe rectificarla y repararla con micropolvo W1.5. Queda estrictamente prohibido el rectificado automático con papel de lija.
Después de la calibración, se deben registrar y archivar los datos, y se debe establecer una curva de atenuación de la precisión de la plataforma para predecir los requisitos de mantenimiento con antelación.
4. Almacenamiento y transporte: evite pérdidas de precisión ocultas
Puntos clave para el almacenamiento a largo plazo
Al almacenarla, cúbrala con una funda impermeable y a prueba de polvo. La base debe apoyarse en tres puntos (el punto de apoyo se encuentra a 2/9 de la longitud de la plataforma) para evitar la deformación por flexión causada por la gravedad (una plataforma de 1 metro puede deformarse 0,3 μm debido al apoyo prolongado en un solo punto).
Mueva la posición de los puntos de apoyo de la plataforma periódicamente (mensualmente) para evitar presión local a largo plazo.
Plan de protección del transporte
Transporte de corta distancia: envolver con espuma amortiguadora, fijar dentro de un marco rígido y mantener la aceleración dentro de 2 g.
Transporte de larga distancia: Debe envasarse al vacío y llenarse con nitrógeno seco. Tras su llegada, debe dejarse reposar durante 24 horas hasta que la temperatura alcance el equilibrio antes de desembalarlo para evitar que la condensación afecte la precisión.
5. Predicción de fallas: técnicas para identificar problemas tempranos
Inspección visual: Observe periódicamente la superficie con una lupa de 40x. Si se detectan rayones continuos o una disminución significativa del brillo, esto podría indicar una disminución de la precisión.
Detección de sonido: Golpee suavemente la plataforma. Si el sonido se vuelve ronco (normalmente debería ser claro), es posible que haya microfisuras en el interior. Deje de usarlo inmediatamente para la detección.
Gracias a este sistema de mantenimiento, la plataforma de granito ZHHIMG® puede mantener una planitud de ±1 μm/m durante 10 años, lo que triplica la vida útil de precisión de las plataformas sin un mantenimiento adecuado. La práctica ha demostrado que, tras la adopción de esta solución por parte de una fábrica de semiconductores, la frecuencia de calibración de la plataforma se redujo en un 50 % y el coste anual de mantenimiento se ahorró más de 150 000 yuanes.
Hora de publicación: 18 de junio de 2025