La plataforma de granito, como herramienta de referencia para la medición y el procesamiento de precisión, depende directamente del mantenimiento de su exactitud para la calidad de la producción. A continuación, se presenta un plan de mantenimiento sistemático que abarca el control ambiental, el mantenimiento diario y la calibración profesional para garantizar que la plataforma mantenga una precisión nanométrica durante un largo periodo de tiempo.
1. Control ambiental: Construir una barrera de protección de precisión
Control de temperatura y humedad
La temperatura del entorno de trabajo debe mantenerse estable a 20 ± 1 °C. Cada fluctuación de 1 °C provocará una deformación térmica de la plataforma de granito de 0,5 a 1 μm/m. Se puede instalar un sistema de temperatura constante en el taller para evitar que el aire acondicionado incida directamente sobre la plataforma.
La humedad debe controlarse entre el 40% y el 60%. Una humedad excesiva puede provocar fácilmente oxidación en las piezas metálicas, mientras que una humedad demasiado baja puede causar interferencias de electricidad estática en las mediciones.
Aislamiento de vibraciones
La plataforma debe mantenerse alejada de fuentes de vibración como prensas y fresadoras. Se recomienda mantener una distancia de más de 3 metros de los equipos que producen vibraciones.
Si no se pueden evitar las vibraciones, se pueden instalar amortiguadores neumáticos en la parte inferior de la plataforma para reducir el impacto de las vibraciones ambientales en la planitud de la plataforma (lo que puede reducir las vibraciones externas en más del 80%).
2. Mantenimiento diario: Control meticuloso desde la limpieza hasta la protección
Especificación de limpieza de superficies
Eliminación de polvo: Limpie la superficie diariamente con un paño de piel de ciervo o un paño que no suelte pelusa, siempre en la misma dirección, para evitar que las partículas de polvo (≥5 μm) rayen la plataforma. Las manchas difíciles se pueden limpiar suavemente con etanol anhidro (pureza ≥99,7 %). No utilice disolventes fuertes como la acetona.
Desengrasado: Si entra en contacto con manchas de aceite, límpielo con un limpiador neutro diluido, luego enjuague con agua desionizada y deje secar al aire para evitar que el aceite mineral penetre en los diminutos poros de la plataforma.
Protección contra cargas y colisiones
La capacidad de carga de la plataforma debe controlarse dentro del 70% de la carga nominal (por ejemplo, para una plataforma de 1000 kg, se recomienda que la carga sea ≤700 kg) para evitar deformaciones permanentes causadas por sobrecargas locales.
Está terminantemente prohibido golpear las piezas de trabajo sobre la plataforma. Al manipular herramientas, utilice guantes suaves para evitar que objetos afilados rayen la superficie (los arañazos con una profundidad superior a 20 μm afectarán a la medición de la trayectoria de la luz reflejada).
3. Calibración profesional: La clave para mantener la precisión científica
Ajuste del ciclo de calibración
Escenarios de uso convencionales: Calibrar una vez cada trimestre y usar un interferómetro láser para detectar la planitud (con una precisión de ±0,5 μm/m).
Uso de alta frecuencia o entornos hostiles: Calibración mensual, con especial atención a la monitorización de las zonas sensibles a la temperatura (como el borde de la plataforma cerca de las fuentes de calor).
procesamiento posterior a la calibración
Si se detecta una desviación de planitud (por ejemplo, > ±1 μm/m), debe ser rectificada y reparada por un técnico profesional utilizando micropulverización W1.5. Está terminantemente prohibido el rectificado con papel de lija.
Tras la calibración, se deben registrar y archivar los datos, y se debe establecer una curva de atenuación de la precisión de la plataforma para predecir con antelación las necesidades de mantenimiento.
4. Almacenamiento y transporte: Evitar pérdidas de precisión ocultas.
Puntos clave para el almacenamiento a largo plazo
Para su almacenamiento, debe cubrirse con una funda impermeable y antipolvo. La base debe apoyarse en tres puntos (el punto de apoyo se ubica a 2/9 de la longitud de la plataforma) para evitar deformaciones por flexión causadas por la gravedad (una plataforma de 1 metro puede combarse 0,3 μm debido a un apoyo prolongado en un solo punto).
Cambie la posición de los puntos de soporte de la plataforma regularmente (mensualmente) para evitar la presión local a largo plazo.
Plan de protección del transporte
Transporte de corta distancia: Envolver con espuma amortiguadora, fijar dentro de un marco rígido y mantener la aceleración dentro de 2 g.
Transporte de larga distancia: Debe envasarse al vacío y llenarse con nitrógeno seco. Tras su llegada, debe dejarse reposar durante 24 horas hasta que la temperatura alcance el equilibrio antes de desembalarlo para evitar que la condensación afecte a la precisión.
5. Predicción de fallos: Técnicas para la identificación temprana de problemas
Inspección visual: Observe periódicamente la superficie con una lupa de 40 aumentos. Si se detectan arañazos continuos o una disminución significativa del brillo, podría indicar una pérdida de precisión.
Detección de sonido: Golpee suavemente la plataforma. Si el sonido se vuelve ronco (normalmente debería ser claro), puede haber microfisuras internas. Deje de usarla inmediatamente para detectarlas.
Gracias a este sistema de mantenimiento, la plataforma de granito ZHHIMG® mantiene una planitud de ±1 μm/m durante 10 años, lo que supone más del triple de la vida útil de precisión de las plataformas que no reciben un mantenimiento adecuado. La práctica ha demostrado que, tras la adopción de esta solución por parte de una fábrica de semiconductores, la frecuencia de calibración de la plataforma se redujo en un 50 % y el coste anual de mantenimiento se ahorró en más de 150 000 yuanes.
Fecha de publicación: 18 de junio de 2025