La revolución de la precisión en la fabricación de semiconductores: cuando el granito se encuentra con la tecnología micrométrica
1.1 Descubrimientos inesperados en la ciencia de los materiales
Según el informe SEMI de 2023 de la Asociación Internacional de Semiconductores, el 63 % de las fábricas avanzadas del mundo han comenzado a utilizar bases de granito en lugar de las tradicionales plataformas metálicas. Esta piedra natural, que se origina a partir de la condensación de magma en las profundidades de la Tierra, está reescribiendo la historia de la fabricación de semiconductores gracias a sus propiedades físicas únicas:
Ventaja de inercia térmica: el coeficiente de expansión térmica del granito 4,5×10⁻⁶/℃ es solo 1/5 del del acero inoxidable y se mantiene una estabilidad dimensional de ±0,001 mm en el trabajo continuo de la máquina de litografía.
Características de amortiguación de vibraciones: el coeficiente de fricción interna es 15 veces mayor que el del hierro fundido, lo que absorbe eficazmente las microvibraciones del equipo.
Naturaleza de magnetización cero: elimina por completo el error magnético en la medición láser
1.2 El viaje de metamorfosis de la mina a la fábrica
Tomando como ejemplo la base de producción inteligente de ZHHIMG en Shandong, una pieza de granito en bruto debe pasar por:
Mecanizado de ultraprecisión: centro de mecanizado con varillaje de cinco ejes para 200 horas de fresado continuo, rugosidad superficial de hasta Ra0,008 μm
Tratamiento de envejecimiento artificial: 48 horas de liberación natural de estrés en taller de temperatura y humedad constantes, lo que mejora la estabilidad del producto en un 40%.
En segundo lugar, resuelva los seis problemas de precisión de la fabricación de semiconductores. "Solución fundamental"
2.1 Esquema de reducción de la tasa de fragmentación de obleas
Demostración de caso: Después de que una fundición de virutas en Alemania adopta nuestra plataforma de granito flotante de gas:
| Diámetro de la oblea | reducción de la tasa de viruta | mejora de la planitud |
| 12 pulgadas | 67% | ≤0,001 mm |
| 18 pulgadas | 82% | ≤0,0005 mm |
2.2 Esquema de avance en la precisión de la alineación litográfica
Sistema de compensación de temperatura: el sensor cerámico incorporado monitorea la variable de forma en tiempo real y ajusta automáticamente la inclinación de la plataforma.
Datos medidos: bajo la fluctuación de 28 ℃ ± 5 ℃, la precisión de incrustación fluctúa menos de 0,12 μm
Hora de publicación: 24 de marzo de 2025