En los campos de la fabricación de precisión y la investigación científica, la planitud de las plataformas de granito es un indicador clave para garantizar la precisión de los equipos. A continuación, se presenta una introducción detallada a varios métodos de detección comunes y sus procedimientos operativos.
I. Método de detección por interferómetro láser
El interferómetro láser es la herramienta preferida para la detección de planitud de alta precisión. Por ejemplo, el interferómetro láser ZYGO GPI XP alcanza una resolución de 0,1 nm. Para realizar la detección, primero se alinea la fuente de luz del interferómetro con la plataforma y se divide la superficie de esta en áreas de una cuadrícula de 50 mm × 50 mm. Posteriormente, se recopilan los datos de las franjas de interferencia punto por punto, y estos se ajustan y analizan mediante el polinomio de Zernike para obtener el error de planitud. Este método es aplicable a plataformas de alta precisión y permite detectar errores de planitud de ≤0,5 μm/m². Se utiliza comúnmente en la detección de máquinas de fotolitografía y plataformas de máquinas de medición tridimensionales de alta gama.
II. Método de matriz de niveles electrónicos
La detección mediante matrices de niveles electrónicos es sencilla y altamente eficiente. Se seleccionó el nivel electrónico TESA A2 (con una resolución de 0,01 μm/m) y se dispuso en una matriz de 9 × 9 a lo largo de los ejes X/Y de la plataforma. Mediante la recopilación simultánea de los datos de inclinación de cada nivel y el posterior cálculo por mínimos cuadrados, se obtiene con precisión el valor de planitud. Este método permite identificar eficazmente las concavidades y convexidades locales de la plataforma. Por ejemplo, se puede detectar una fluctuación de 0,2 μm en un rango de 50 mm, lo que resulta idóneo para la detección rápida en la producción en masa.
III. Método del cristal plano óptico
El método del cristal plano óptico es adecuado para la detección de plataformas de área pequeña. Fije el cristal plano óptico firmemente a la superficie a analizar de la plataforma y observe las franjas de interferencia que se forman entre ellos bajo la iluminación de una fuente de luz monocromática (como una lámpara de sodio). Si las franjas son rectas y paralelas, indica una buena planitud. Si aparecen franjas curvas, calcule el error de planitud en función del grado de curvatura de las franjas. Cada franja curva representa una diferencia de altura de 0,316 μm, y los datos de planitud se pueden obtener mediante una conversión sencilla.
Cuatro. Método de inspección con máquina de medición de tres coordenadas
La máquina de medición tridimensional permite realizar mediciones de alta precisión en el espacio tridimensional. Coloque la plataforma de granito sobre la mesa de trabajo de la máquina y utilice la sonda para recopilar datos de manera uniforme en múltiples puntos de medición de la superficie de la plataforma. El sistema de la máquina procesa y analiza estos datos para generar un informe de planitud de la plataforma. Este método no solo permite detectar la planitud, sino que también obtiene simultáneamente otros parámetros geométricos de la plataforma, y es adecuado para la detección integral de grandes plataformas de granito.
Dominar estos métodos de detección puede ayudarle a evaluar con precisión la planitud de la plataforma de precisión de granito y proporcionar una garantía fiable para el funcionamiento estable de los equipos de precisión.
Fecha de publicación: 29 de mayo de 2025