En los campos de la fabricación de precisión y la investigación científica, la planitud de las plataformas de precisión de granito es un indicador clave para garantizar la precisión del equipo. A continuación, se presenta una introducción detallada a varios métodos de detección convencionales y sus procedimientos operativos.
I. Método de detección por interferómetro láser
El interferómetro láser es la herramienta preferida para la detección de planitud de alta precisión. Tomemos como ejemplo el interferómetro láser ZYGO GPI XP, cuya resolución puede alcanzar los 0,1 nm. Para realizar la detección, primero se alinea la fuente de luz del interferómetro con la plataforma y se divide la superficie de la plataforma en áreas de cuadrícula de 50 mm × 50 mm. Posteriormente, se recopilaron los datos de la franja de interferencia punto por punto, y se ajustaron y analizaron utilizando el polinomio de Zernike para obtener el error de planitud. Este método es aplicable a plataformas de alta precisión y puede detectar errores de planitud de ≤0,5 μm/m². Se utiliza comúnmente en la detección de máquinas de fotolitografía y plataformas de máquinas de medición de tres coordenadas de alta gama.
Ii. Método de matriz de niveles electrónicos
La detección por matriz de nivel electrónico es sencilla de operar y altamente eficiente. Se seleccionó el nivel electrónico TESA A2 (con una resolución de 0,01 μm/m) y se dispuso en una matriz de 9×9 a lo largo del eje X/Y de la plataforma. Mediante la recopilación sincronizada de los datos de inclinación de cada nivel y el cálculo por mínimos cuadrados, se puede obtener con precisión el valor de planitud. Este método permite identificar eficazmente las condiciones locales de concavidad y convexidad de la plataforma. Por ejemplo, también se puede detectar una fluctuación de 0,2 μm en un rango de 50 mm, lo cual resulta ideal para una detección rápida en la producción en masa.
iii. Método del cristal plano óptico
El método del cristal plano óptico es adecuado para la detección de plataformas de área pequeña. Fije firmemente el cristal plano óptico a la superficie a analizar en la plataforma y observe las franjas de interferencia formadas entre ellas bajo la iluminación de una fuente de luz monocromática (como una lámpara de sodio). Si las franjas son rectas y paralelas, indica una buena planitud. Si aparecen franjas curvas, calcule el error de planitud basándose en el grado de curvatura de la franja. Cada franja curva representa una diferencia de altura de 0,316 μm, y los datos de planitud se pueden obtener mediante una simple conversión.
Cuatro. Método de inspección de la máquina de medición de tres coordenadas
La máquina de medición de tres coordenadas permite realizar mediciones de alta precisión en un espacio tridimensional. Coloque la plataforma de granito sobre la mesa de trabajo de la máquina de medición y utilice la sonda para recopilar datos uniformemente desde múltiples puntos de medición en la superficie de la plataforma. El sistema de la máquina de medición procesa y analiza estos datos para generar un informe de planitud de la plataforma. Este método no solo detecta la planitud, sino que también obtiene simultáneamente otros parámetros geométricos de la plataforma, lo que resulta ideal para la detección integral de grandes plataformas de granito.
El dominio de estos métodos de detección puede ayudarlo a evaluar con precisión la planitud de la plataforma de precisión de granito y brindar una garantía confiable para el funcionamiento estable del equipo de precisión.
Hora de publicación: 29 de mayo de 2025