Base de granito: ¡La "campeona oculta" del ranurado de obleas! ¿Por qué debería permanecer en la posición central?

En el campo del ranurado de obleas semiconductoras, la precisión es fundamental. ¡Una base de granito común y corriente puede suponer un salto cualitativo en el rendimiento del equipo de ranurado! ¿Qué ventajas oculta realmente? ¿Por qué se dice que elegir la base de granito adecuada es un gran paso? ¡Hoy lo descubriremos a fondo!

Instrumentos de medición de precisión
I. Fuerza inherente: Las tres "ventajas inherentes" del granito
La resistencia sísmica es tan estable como la del Monte Tai.
El granito tiene una densidad de entre 2800 y 3100 kg/m³ y una estructura tan densa como una fortaleza de piedra. En el entorno de vibración de alta frecuencia del ranurado de obleas (donde el equipo realiza más de 100 ranurados por minuto), absorbe más del 90 % de la energía de vibración, ¡como si el equipo contara con tecnología de absorción de impactos avanzada! Los datos recopilados en una fábrica de chips muestran que, tras utilizar la base de granito, la amplitud de la vibración del cabezal de ranurado se redujo de 15 μm a 3 μm, y los bordes de los micro-ranurados grabados presentan una suavidad similar a la de un espejo.
2. "Constitución resistente al calor" No teme a las diferencias de temperatura
Los materiales comunes se expanden y deforman al calentarse y se contraen y deforman al enfriarse, pero el coeficiente de dilatación térmica del granito es tan bajo como 4-8×10⁻⁶/°C, ¡solo una quinta parte del de los metales! Incluso si la temperatura en el taller fluctúa bruscamente 10 °C en 24 horas, su deformación es inferior a 0,01 mm y resulta prácticamente imperceptible. Esto significa que, independientemente de la alternancia entre el día y la noche o el funcionamiento prolongado y la generación de calor del equipo, la base de granito mantiene la posición de la ranura inmóvil en todo momento.
3. Resistencia al desgaste indestructible
La dureza Mohs del granito alcanza entre 6 y 7, comparable a la del cuarzo, y su resistencia al desgaste triplica la del acero común. Bajo la fricción prolongada de alta frecuencia del ranurado de obleas, la superficie de la base apenas se desgasta. Tras cinco años de uso de bases de granito en una fundición, la planitud se mantuvo dentro de ±0,5 μm/m tras la inspección, y la precisión del ranurado permaneció constante, lo que supuso un importante ahorro en costes de calibración y sustitución de equipos.
II. Adaptación precisa: ¿Cómo satisface el granito los diferentes requisitos de ranurado?
Escena 1: Ranurado ultrafino (micro-ranuras inferiores a 10 μm)
Requisito: Máxima planitud
Ventajas del granito: Gracias a un mecanizado de alta precisión mediante un sistema de cinco ejes, la planitud se controla con una tolerancia de ±0,5 μm/m, lo que significa que, en una longitud de 1 metro, el error de altura es 200 veces menor que el grosor de un cabello humano. Esto garantiza una distancia precisa entre el cabezal de corte y la oblea, y que el error de anchura de las microcanales grabadas no supere los ±0,1 μm.
Escena 2: Ranurado de producción en masa de alta velocidad
Requisito: Excelente capacidad de absorción de impactos
Ventajas del granito: Sus propiedades de amortiguación natural en el interior atenúan rápidamente las vibraciones de los equipos. Tras la introducción de bases de granito en una fábrica de paneles, la velocidad de ranurado aumentó un 40 % y el rendimiento pasó del 85 % al 96 %, ¡logrando así una doble mejora en la eficiencia y la calidad de la producción!
Escena 3: Ranurado en entornos complejos (alta temperatura/corrosión)
Requisitos: Resistencia a altas temperaturas y a la corrosión
Ventajas del granito: Gran estabilidad química, resistente a la corrosión por ácidos y álcalis; posee un bajo coeficiente de dilatación térmica y no se deforma incluso a altas temperaturas locales (150 °C) durante el ranurado láser. Una base de granito utilizada en un laboratorio con una solución de ranurado corrosiva se ha mantenido en uso continuo durante tres años, y su superficie permanece intacta.
III. ¿Cómo elegir una base de granito "auténtica de alta calidad"?
Fíjese en la densidad: el granito con una densidad ≥2800 kg/m³ tiene una estructura más compacta.
Verifique las certificaciones: Asegúrese de reconocer certificaciones autorizadas como ISO 9001 y CNAS para garantizar la calidad.
Datos de verificación: El fabricante está obligado a proporcionar informes de prueba sobre el coeficiente de expansión térmica (< 8×10⁻⁶/℃) y la planitud (±0,5μm/m).
Prueba in situ: Golpee la base. Un sonido nítido indica que no hay grietas internas. Si la superficie táctil es tan lisa como un espejo, indica una alta precisión de procesamiento.
Conclusión: ¡Elige el granito adecuado y tendrás la mitad del camino recorrido para lograr un buen ritmo!
Desde su resistencia a los golpes y al calor hasta su resistencia al desgaste, la base de granito, con su belleza natural y su gran resistencia, se ha convertido en el complemento ideal para los equipos de ranurado de obleas. En la actual era de la fabricación de semiconductores, que busca la precisión a nanoescala, una base de granito de alta calidad no solo es una inversión en equipos, sino también una garantía a largo plazo para la eficiencia de la producción y la calidad del producto.

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Fecha de publicación: 17 de junio de 2025