En el exigente mundo de la fabricación de semiconductores, las pruebas no destructivas de obleas son clave para garantizar la calidad de los chips. La aparentemente insignificante base de granito es en realidad el "héroe anónimo" que determina la precisión de la detección. ¿Cómo afecta esto a los resultados de las pruebas? Este artículo realizará un análisis exhaustivo de dimensiones como las propiedades del material y el diseño estructural.
1. Base estable: Las ventajas naturales del granito sientan una base sólida para la precisión.
1. Excelente rendimiento sísmico
Durante el funcionamiento del equipo de ensayos no destructivos de obleas, la rotación del motor y el movimiento de los componentes mecánicos generan vibraciones. Si estas vibraciones no se suprimen eficazmente, afectarán gravemente la precisión de la prueba. El interior del granito está estrechamente entrelazado con cristales minerales como el cuarzo y el feldespato. Su estructura única le confiere una capacidad natural de absorción de vibraciones, capaz de absorber más del 90 % de la energía de vibración del equipo. Los datos de medición reales de un fabricante de semiconductores muestran que, tras utilizar la base de granito, la amplitud de vibración del equipo de detección se ha reducido de 12 μm a 2 μm, evitando eficazmente la desviación de la señal de detección causada por la vibración.
2. Coeficiente de expansión térmica extremadamente bajo
Durante el proceso de detección, factores como el calentamiento del equipo y los cambios de temperatura ambiental afectan la estabilidad de la base de la máquina. Los materiales comunes se expanden significativamente al calentarse, pero el coeficiente de expansión térmica del granito es solo 1/5 del del acero. Incluso si la temperatura ambiente fluctúa 10 °C, su deformación puede ignorarse. Esto permite que la base de granito proporcione una plataforma de referencia estable para el equipo de inspección, garantizando que la posición relativa entre la sonda de inspección y la oblea se mantenga precisa en todo momento y evitando errores de inspección causados por la deformación térmica.
En segundo lugar, diseño preciso: la optimización estructural mejora aún más la fiabilidad de la detección.
Procesamiento de alta precisión y garantía de planitud.
La base de granito de alta calidad se procesa mediante tecnología CNC avanzada de cinco ejes, con una planitud de ±0,5 μm/m, lo que proporciona una referencia de instalación ultraplana para el equipo de inspección. En la inspección de obleas, la verticalidad y la nivelación de la sonda de inspección son cruciales para los resultados. Una base de granito de alta precisión garantiza el posicionamiento preciso de la sonda, lo que aumenta la precisión y fiabilidad de los datos de inspección.
2. Adaptación estructural personalizada
Las bases de granito para máquinas se pueden personalizar para diferentes equipos de ensayos no destructivos de obleas y requisitos de proceso. Por ejemplo, para cumplir con los requisitos de reflexión de la luz de los equipos de inspección óptica, la superficie de la base puede recibir un tratamiento especial. Para cumplir con los requisitos de instalación de equipos de ensayos ultrasónicos, la base puede prefabricarse con orificios de instalación precisos y bandejas para cables, lo que permite una instalación rápida y precisa del equipo y reduce las desviaciones de detección causadas por errores de instalación.
iii. Estabilidad a largo plazo: Reducir la pérdida de precisión causada por el mantenimiento del equipo.
El granito posee una alta dureza y una gran resistencia al desgaste, con una dureza Mohs de 6 a 7, tres veces superior a la del acero convencional. Durante las inspecciones a largo plazo, la superficie de la base de la máquina no se desgasta y mantiene siempre una buena precisión. Por el contrario, las bases de otros materiales pueden alterar la referencia de instalación del equipo debido al desgaste, lo que afecta la precisión de detección y requiere calibración y mantenimiento frecuentes. La larga vida útil y la alta estabilidad de la base de granito reducen eficazmente la frecuencia de mantenimiento del equipo y disminuyen el riesgo de pérdida de precisión durante el mismo.
Desde la resistencia a los impactos y al calor hasta el diseño preciso, cada característica de la base de granito garantiza la precisión de las pruebas no destructivas de obleas. En la era actual de la fabricación de semiconductores, que busca la máxima precisión, elegir una base de granito de alta calidad es como añadir una sólida capa de seguridad a la precisión y fiabilidad de los resultados de las pruebas.
Hora de publicación: 18 de junio de 2025