En el preciso mundo de la fabricación de semiconductores, las pruebas no destructivas de obleas son fundamentales para garantizar la calidad de los chips. La aparentemente insignificante base de granito es, en realidad, la pieza clave que determina la precisión de la detección. ¿Cómo influye en los resultados de las pruebas? Este artículo realizará un análisis exhaustivo desde perspectivas como las propiedades del material y el diseño estructural.
1. Base estable: Las ventajas naturales del granito sientan una base sólida para la precisión.
1. Excelente desempeño sísmico
Durante el funcionamiento del equipo de ensayo no destructivo de obleas, la rotación del motor y el movimiento de los componentes mecánicos generan vibraciones. Si estas vibraciones no se suprimen eficazmente, afectarán gravemente la precisión de las pruebas. El interior del granito está densamente entrelazado con cristales minerales como el cuarzo y el feldespato. Su estructura única le confiere una capacidad natural de absorción de vibraciones, capaz de absorber más del 90 % de la energía vibratoria del equipo. Los datos de medición reales de un fabricante de semiconductores muestran que, tras utilizar la base de granito, la amplitud de vibración del equipo de detección se redujo de 12 μm a 2 μm, evitando así la desviación de la señal de detección causada por la vibración.
2. Coeficiente de dilatación térmica extremadamente bajo
Durante el proceso de detección, factores como el calentamiento del equipo y las variaciones de la temperatura ambiente afectan la estabilidad de la base de la máquina. Los materiales comunes se expanden considerablemente al calentarse, pero el coeficiente de dilatación térmica del granito es solo 1/5 del del acero. Incluso con fluctuaciones de temperatura ambiente de 10 °C, su deformación es insignificante. Esto permite que la base de granito proporcione una plataforma de referencia estable para el equipo de inspección, garantizando que la posición relativa entre la sonda de inspección y la oblea se mantenga precisa en todo momento y evitando errores de inspección causados por la deformación térmica.
En segundo lugar, un diseño preciso: la optimización estructural mejora aún más la fiabilidad de la detección.
Procesamiento de alta precisión y garantía de planitud
La base de granito de alta calidad se procesa mediante tecnología CNC avanzada de cinco ejes, con una planitud de ±0,5 μm/m, lo que proporciona una referencia de instalación ultraplana para equipos de inspección. En la inspección de obleas, la verticalidad y la nivelación de la sonda de inspección son cruciales para los resultados. Una base de granito de alta precisión garantiza el posicionamiento exacto de la sonda, lo que hace que los datos de inspección sean más precisos y fiables.
2. Adaptación estructural personalizada
Las bases de granito para máquinas se pueden personalizar para adaptarse a los diferentes equipos de ensayo no destructivo de obleas y a los requisitos de proceso. Por ejemplo, para cumplir con los requisitos de reflexión de la luz de los equipos de inspección óptica, la superficie de la base puede recibir un tratamiento especial. Para cumplir con los requisitos de instalación de los equipos de ensayo ultrasónico, la base puede prefabricarse con orificios de instalación precisos y bandejas portacables, lo que permite una instalación rápida y precisa del equipo y reduce las desviaciones de detección causadas por errores de instalación.
iii. Estabilidad a largo plazo: Reducir la pérdida de precisión causada por el mantenimiento del equipo.
El granito posee una alta dureza y gran resistencia al desgaste, con una dureza Mohs de 6 a 7, tres veces superior a la del acero común. Durante inspecciones prolongadas, la superficie de la base de la máquina no se desgasta y mantiene una alta precisión. En cambio, las bases de otros materiales pueden provocar cambios en la referencia de instalación del equipo debido al desgaste, afectando la precisión de detección y requiriendo calibración y mantenimiento frecuentes. La larga vida útil y la alta estabilidad de la base de granito reducen eficazmente la frecuencia del mantenimiento y minimizan el riesgo de pérdida de precisión durante el proceso.
Desde su resistencia a los golpes y al calor hasta su diseño preciso, cada característica de la base de granito garantiza la exactitud de las pruebas no destructivas de obleas. En la era actual de la fabricación de semiconductores, donde se busca la máxima precisión, elegir una base de granito de alta calidad es como añadir una sólida garantía a la exactitud y fiabilidad de los resultados de las pruebas.
Fecha de publicación: 18 de junio de 2025