IEn la industria de fabricación de semiconductores, la precisión de los equipos de inspección de obleas es crucial para garantizar la calidad de los circuitos integrados. Las bases de granito de alta precisión, como las que ofrece ZHHIMG®, son fundamentales para mejorar el rendimiento de estos equipos. Así es como marcan la diferencia.
Estabilidad dimensional excepcional. El granito presenta un coeficiente de expansión térmica extremadamente bajo, de aproximadamente (4–8) × 10⁻⁶/℃, significativamente inferior al de muchos metales. En el entorno estrictamente controlado de las fábricas de semiconductores, donde incluso las más mínimas fluctuaciones de temperatura pueden causar errores de medición, las bases de las máquinas de granito se mantienen estables. Esta estabilidad garantiza la precisión en el posicionamiento de los componentes en los equipos de inspección de obleas, evitando desviaciones térmicas que podrían afectar la precisión de los resultados de la inspección.
Amortiguación superior de vibraciones. Los pisos de producción suelen estar expuestos a vibraciones de diversas fuentes. Las propiedades de amortiguación inherentes del granito, con una relación de amortiguación de 0,05 a 0,1, absorben y disipan eficazmente estas vibraciones. Para la inspección de obleas.
En la sección, que exige imágenes de alta resolución y lecturas precisas del sensor, la reducción de vibraciones que ofrecen las bases de granito es invaluable. Minimiza las interferencias que podrían desenfocar las imágenes o distorsionar los datos del sensor, lo que permite que el equipo capture información clara y precisa sobre la superficie y la estructura interna de la oblea.
Alta rigidez y resistencia al desgaste. Con una densidad aproximada de 3100 kg/m³, las bases de granito para máquinas ZHHIMG® ofrecen una rigidez excepcional. Soportan los componentes pesados de los equipos de inspección de obleas sin deformarse, manteniendo la alineación de los sistemas ópticos y mecánicos. Además, la alta dureza del granito (escala de Mohs 6-7) y su excelente resistencia al desgaste garantizan que la superficie de la base se mantenga plana y lisa a lo largo del tiempo. Esta consistencia es esencial para la precisión a largo plazo, ya que cualquier desgaste o deformación en la base podría reducir gradualmente la precisión del equipo.
Inercia química. La fabricación de semiconductores implica la exposición a diversas sustancias químicas. La inercia química del granito lo hace resistente a la corrosión causada por estas sustancias. Esta propiedad protege la integridad de la base de la máquina, previniendo daños químicos que podrían afectar la estabilidad y precisión del equipo de inspección.
En conclusión, las bases de granito para máquinas de alta precisión no son solo un componente, sino un factor clave para alcanzar los exigentes requisitos de precisión de los equipos de inspección de obleas. Al elegir bases de granito para máquinas, opte por proveedores de confianza como ZHHIMG®. Con múltiples certificaciones y un compromiso con la calidad, ZHHIMG® garantiza que cada base de granito para máquinas ofrezca la fiabilidad y el rendimiento necesarios para la fabricación avanzada de semiconductores.
Hora de publicación: 03-jun-2025