¿Cómo inspeccionar la precisión de una plataforma de precisión de granito? ¿Cómo garantizar que la precisión sea estándar?

En campos como la fabricación de semiconductores y los instrumentos de medición de precisión, la precisión de las plataformas de precisión de granito determina directamente la calidad operativa del equipo. Para garantizar que la precisión de la plataforma cumpla con los estándares, se deben realizar esfuerzos desde dos perspectivas: la detección de indicadores clave y el cumplimiento de las normas.

Detección de indicadores centrales: control multidimensional de la precisión
Detección de planitud: determinación de la "planitud" del plano de referencia
La planitud es el indicador principal de las plataformas de precisión de granito y se suele medir con interferómetros láser o niveles electrónicos. El interferómetro láser puede medir con precisión las pequeñas ondulaciones en la superficie de la plataforma mediante la emisión de un haz láser y el uso del principio de interferencia de luz, con una precisión submicrónica. El nivel electrónico mide mediante múltiples movimientos y dibuja un mapa de contorno tridimensional de la superficie de la plataforma para detectar la presencia de protuberancias o depresiones locales. Por ejemplo, las plataformas de granito utilizadas en máquinas de fotolitografía de semiconductores deben tener una planitud de ±0,5 μm/m, lo que significa que la diferencia de altura dentro de un metro de longitud no debe superar la mitad de la micra. Solo mediante equipos de detección de alta precisión se puede garantizar este estricto estándar.
2. Detección de rectitud: garantiza la "rectitud" del movimiento lineal
Para las plataformas que transportan piezas móviles de precisión, la rectitud es fundamental. Los métodos habituales de detección son el método de alambre o el colimador láser. El método de alambre consiste en suspender alambres de acero de alta precisión y comparar la separación entre la superficie de la plataforma y los alambres para determinar la rectitud. El colimador láser utiliza las características de propagación lineal del láser para detectar el error lineal de la superficie de instalación del riel guía de la plataforma. Si la rectitud no cumple con el estándar, el equipo se desplazará durante el movimiento, lo que afectará la precisión del procesamiento o la medición.
3. Detección de rugosidad superficial: garantizar la "finura" del contacto
La rugosidad superficial de la plataforma afecta el ajuste de la instalación de los componentes. Generalmente, se utiliza un rugosímetro de aguja o un microscopio óptico para su detección. El instrumento de aguja registra los cambios de altura del perfil microscópico al tocar la superficie de la plataforma con una sonda fina. Los microscopios ópticos permiten observar directamente la textura de la superficie. En aplicaciones de alta precisión, la rugosidad superficial de las plataformas de granito debe controlarse a Ra ≤ 0,05 μm, lo que equivale a un efecto espejo, garantizando así un ajuste perfecto de los componentes de precisión durante la instalación y evitando vibraciones o desplazamientos causados ​​por holguras.
Los estándares de precisión siguen: normas internacionales y control interno de la empresa
Actualmente, las normas ISO 25178 y GB/T 24632 se utilizan comúnmente a nivel internacional para determinar la precisión de las plataformas de granito, y existen clasificaciones claras para indicadores como la planitud y la rectitud. Además, las empresas manufactureras de alta gama suelen establecer normas de control interno más estrictas. Por ejemplo, el requisito de planitud para la plataforma de granito de la máquina de fotolitografía es un 30 % superior al estándar internacional. Al realizar pruebas, los datos medidos deben compararse con las normas correspondientes. Solo las plataformas que cumplen plenamente con las normas pueden garantizar un rendimiento estable en equipos de precisión.
La inspección de la precisión de las plataformas de precisión de granito es un proyecto sistemático. Solo mediante pruebas rigurosas de indicadores clave como la planitud, la rectitud y la rugosidad superficial, y el cumplimiento de los estándares internacionales y empresariales, se puede garantizar la alta precisión y fiabilidad de la plataforma, sentando así una base sólida para sectores de fabricación de alta gama como los semiconductores y los instrumentos de precisión.