En la fabricación de semiconductores y equipos optoelectrónicos, el granito se utiliza principalmente en componentes clave como plataformas de movimiento de precisión, bases de rieles guía, estructuras de soporte para el aislamiento de vibraciones y sustratos para la instalación de componentes ópticos. Estas piezas requieren una precisión, estabilidad y tolerancia ambiental extremadamente altas. Las características del granito permiten satisfacer con precisión las exigentes demandas de las industrias de semiconductores y optoelectrónica. A continuación, se presenta un análisis de escenarios de aplicación específicos y sus ventajas:
I. Partes principales de la aplicación
Plataformas de movimiento de precisión (como plataformas para obleas en máquinas de fotolitografía y máquinas de unión)
Se utiliza para transportar componentes de precisión, como obleas y lentes ópticas, logrando movimientos de traslación y rotación con precisión a nanoescala.
Equipamiento típico: mesa de trabajo de la máquina de fotolitografía, plataforma de posicionamiento del equipo de medición.
Estructura de la base y el bastidor del riel guía
Como base de instalación para guías lineales y guías de flotación neumática, soporta el mecanismo de movimiento principal del equipo.
Equipamiento típico: bastidores mecánicos de equipos de encapsulado de semiconductores e instrumentos de inspección óptica.
Estructura de soporte y estabilización para el aislamiento de vibraciones
Se utiliza para aislar vibraciones externas (como las procedentes del suelo de la fábrica o las que se producen durante el funcionamiento de los equipos), garantizando así la estabilidad de los sistemas ópticos o la maquinaria de precisión.
Escenarios típicos: Soporte básico para microscopios ópticos e interferómetros láser.
Sustrato de montaje de componentes ópticos
Fije los dispositivos ópticos, como espejos, prismas y láseres, para garantizar la estabilidad a largo plazo de la precisión de alineación del sistema de trayectoria óptica.
Equipamiento típico: Equipos de encapsulado optoelectrónico, sistemas de acoplamiento de fibra óptica.
Fecha de publicación: 29 de mayo de 2025