En equipos de fabricación de semiconductores y optoelectrónicos, el granito se utiliza principalmente en piezas clave como plataformas de movimiento de precisión, bases de rieles guía, estructuras de soporte para aislamiento de vibraciones y sustratos de instalación de componentes ópticos. Estas piezas presentan requisitos extremadamente altos de precisión, estabilidad y tolerancia ambiental. Las características del granito permiten satisfacer con precisión las estrictas exigencias de las industrias de semiconductores y optoelectrónica. A continuación, se presenta un análisis de los escenarios de aplicación específicos y sus ventajas:
I. Partes principales de la aplicación
Plataformas de movimiento de precisión (como plataformas de obleas para máquinas de fotolitografía y máquinas de unión)
Se utiliza para transportar componentes de precisión como obleas y lentes ópticas, logrando movimientos de traslación y rotación con precisión a escala nanométrica.
Equipo típico: mesa de piezas de máquina de fotolitografía, plataforma de posicionamiento del equipo de medición.
Estructura del marco y base del riel guía
Como base de instalación para guías lineales y guías de flotación de aire, soporta el mecanismo de movimiento central del equipo.
Equipos típicos: bastidores mecánicos de equipos de envasado de semiconductores e instrumentos de inspección óptica.
Estructura estabilizadora y de soporte de aislamiento de vibraciones
Se utiliza para aislar vibraciones externas (como vibraciones del suelo de la fábrica o durante el funcionamiento del equipo), garantizando la estabilidad de los sistemas ópticos o de la maquinaria de precisión.
Escenarios típicos: Soporte de base para microscopios ópticos e interferómetros láser.
Sustrato de montaje de componentes ópticos
Reparar dispositivos ópticos como espejos, prismas y láseres para garantizar la estabilidad a largo plazo de la precisión de alineación del sistema de trayectoria óptica.
Equipamiento típico: Equipos de empaquetado optoelectrónico, sistemas de acoplamiento de fibra óptica.
Hora de publicación: 29 de mayo de 2025