Los lechos de granito son muy populares en la fabricación de equipos para semiconductores debido a sus excelentes propiedades, como alta estabilidad dimensional, alta rigidez, baja expansión térmica, buenas propiedades de amortiguación y alta resistencia al desgaste y la abrasión. Se utilizan ampliamente en diversos componentes críticos de la industria de fabricación de equipos para semiconductores, como sistemas de inspección, medición y manipulación de obleas, entre otros.
Sistemas de inspección de obleas
Los sistemas de inspección de obleas emplean lechos de granito para proporcionar una superficie estable y plana para la inspección de obleas semiconductoras. Los lechos de granito se utilizan como plataforma que sostiene la oblea que se inspecciona. La planitud y rigidez del lecho de granito garantizan una inspección precisa, minimizando al mismo tiempo los daños o la contaminación de la oblea. Los lechos de granito también ayudan a reducir los efectos de las vibraciones ambientales y otros factores externos.
Sistemas de medición de obleas
En los sistemas de medición de obleas, la precisión es fundamental. Los lechos de granito se utilizan ampliamente para este fin debido a su excelente estabilidad dimensional. Proporcionan una base rígida para la medición precisa del espesor, la forma y las características superficiales de las obleas. Además, son resistentes al desgaste y la abrasión, lo que los hace ideales para un uso continuo durante un período prolongado.
Sistemas de manipulación de obleas
Los lechos de granito también se utilizan en sistemas de manipulación de obleas. En estos sistemas, los lechos de granito sirven como guía precisa para posicionar la oblea durante el proceso de manipulación. La alta rigidez y planitud del lecho de granito garantizan un posicionamiento preciso y repetible de la oblea, lo que reduce el riesgo de daños.
Otros componentes
Además de los componentes mencionados, los lechos de granito también se utilizan en otras partes críticas de la fabricación de equipos semiconductores, como bases de platinas, estructuras de soporte y otras piezas de alta precisión. La alta estabilidad dimensional de los lechos de granito ayuda a reducir los errores causados por la deformación de las piezas, los cambios térmicos y la vibración.
Conclusión
En conclusión, los lechos de granito son un componente crucial en la fabricación de equipos semiconductores, ya que ofrecen alta estabilidad dimensional, baja expansión térmica y excelente resistencia al desgaste y la abrasión. Son esenciales para un rendimiento preciso, repetible y fiable en sistemas de inspección, medición y manipulación de obleas, así como en otros equipos de alta precisión. El uso de lechos de granito garantiza que los fabricantes de equipos semiconductores puedan producir productos de alta calidad que cumplan con los rigurosos estándares que exige la industria moderna de semiconductores.
Hora de publicación: 03-abr-2024