Las camas de granito son muy preferidas en la fabricación de equipos de semiconductores debido a sus excelentes propiedades, como estabilidad de alta dimensión, alta rigidez, baja expansión térmica, buenas propiedades de amortiguación y alta resistencia al desgaste y la abrasión. Se usan ampliamente en varios componentes críticos en la industria de fabricación de equipos de semiconductores, como sistemas de inspección de obleas, sistemas de medición de obleas, sistemas de manejo de obleas y más.
Sistemas de inspección de obleas
Los sistemas de inspección de obleas emplean camas de granito para proporcionar una superficie estable y plana para la inspección de obleas de semiconductores. Las camas de granito se utilizan como la plataforma de escenario que mantiene la oblea experimentando una inspección. La planitud y la rigidez del lecho de granito asegura una inspección precisa al tiempo que minimiza el daño o la contaminación a la oblea. Los lechos de granito también ayudan a reducir los efectos de las vibraciones ambientales y otros factores externos.
Sistemas de medición de obleas
En los sistemas de medición de obleas, la precisión es crítica. Las camas de granito se usan ampliamente para este propósito debido a su excelente estabilidad dimensional. Proporcionan una base rígida para la medición precisa del grosor de la oblea, la forma y las características de la superficie. Las camas de granito también son resistentes al desgaste y la abrasión, lo que los hace ideales para el uso continuo durante un período prolongado.
Sistemas de manejo de obleas
Las camas de granito también se usan en sistemas de manejo de obleas. En estos sistemas, los lechos de granito se utilizan como una guía precisa para colocar la oblea durante el proceso de manejo. La alta rigidez y la planitud del lecho de granito aseguran una posición precisa y repetible de la oblea, reduciendo el riesgo de daño.
Otros componentes
Además de los componentes anteriores, los lechos de granito también se utilizan en otras partes críticas de la fabricación de equipos de semiconductores, como bases de etapas, estructuras de soporte y otras piezas de alta precisión. La alta estabilidad dimensional de los lechos de granito ayuda a reducir los errores causados por la deformación parcial, los cambios térmicos y la vibración.
Conclusión
En conclusión, las camas de granito son un componente crítico en la fabricación de equipos de semiconductores, ya que ofrecen una alta estabilidad dimensional, baja expansión térmica y excelente resistencia al desgaste y la abrasión. Son esenciales para un rendimiento preciso, repetible y confiable en los sistemas de inspección de obleas, sistemas de medición de obleas, sistemas de manejo de obleas y otros equipos de alta precisión. El uso de camas de granito asegura que los fabricantes de equipos de semiconductores puedan producir productos de alta calidad que cumplan con los rigurosos estándares exigidos por la moderna industria de semiconductores.
Tiempo de publicación: ABR-03-2024