Los materiales de granito se utilizan ampliamente en la industria de semiconductores debido a sus excelentes características, como alta estabilidad, baja expansión térmica y alta resistencia a la corrosión. Estas propiedades hacen que el granito sea un material ideal para construir componentes de alta precisión en un sistema de transferencia de obleas.
En el proceso de fabricación de semiconductores, el sistema de transferencia de obleas juega un papel fundamental en el transporte de obleas en diferentes etapas del proceso de fabricación. La precisión y la precisión son los requisitos esenciales para estos sistemas, ya que incluso las pequeñas desviaciones podrían poner en peligro todo el proceso. Por lo tanto, los componentes en el sistema de transferencia de obleas deben estar hechos de materiales de alta calidad, y el granito cumple con esos criterios.
Algunas partes del sistema de transferencia de obleas que están hechas de materiales de granito incluyen:
1. Mesa de aspiración de Chuck
La mesa de chuck de vacío se usa para sostener la oblea durante el proceso, y debe tener una superficie estable para garantizar que la oblea no esté dañada. El granito es un material ideal para hacer esta mesa porque tiene una superficie plana y no porosa que proporciona alta estabilidad y precisión. Además, el granito tiene un bajo coeficiente de expansión térmica, por lo que es resistente a los cambios de temperatura que podrían causar cambios dimensionales en la oblea.
2. Etapa de aire
La etapa de aire se utiliza para transportar la oblea a través de diferentes etapas del proceso de fabricación. La etapa está diseñada para proporcionar un movimiento sin fricción, que requiere alta precisión y estabilidad. El granito se usa en esta aplicación porque es una piedra rígida y dura, y resiste la deformación y el desgaste con el tiempo.
3. Guías de movimiento lineal
Las guías de movimiento lineal se utilizan para guiar la etapa de soporte de aire, y deben posicionarse con precisión para minimizar los errores. El granito se usa para construir esta guía porque tiene una excelente estabilidad mecánica y resistencia. El material también es resistente a la corrosión, lo que garantiza la longevidad del sistema guía.
4. Equipo de metrología
El equipo de metrología se utiliza para medir las dimensiones y propiedades de la oblea durante el proceso de fabricación. El granito es un material ideal para construir este equipo porque tiene alta rigidez, baja expansión y deformación mínima bajo carga. Además, la estabilidad térmica de Granite asegura que el equipo de metrología permanezca estable y preciso con el tiempo.
En conclusión, la industria de los semiconductores se basa en la precisión y la precisión, y los materiales de granito han demostrado ser altamente confiables y estables en el proceso de fabricación. Con muchos componentes críticos en el sistema de transferencia de obleas que requieren alta estabilidad, precisión y baja expansión térmica, los ingenieros han recurrido a materiales de granito para cumplir con estos requisitos críticos.
Tiempo de publicación: marzo-19-2024