Los materiales de granito se utilizan ampliamente en la industria de semiconductores debido a sus excelentes características, como su alta estabilidad, baja expansión térmica y alta resistencia a la corrosión. Estas propiedades convierten al granito en un material ideal para la fabricación de componentes de alta precisión en un sistema de transferencia de obleas.
En el proceso de fabricación de semiconductores, el sistema de transferencia de obleas desempeña un papel fundamental en el transporte de las obleas a través de las diferentes etapas del proceso. La precisión es esencial para estos sistemas, ya que incluso las más mínimas desviaciones podrían poner en peligro todo el proceso. Por lo tanto, los componentes del sistema de transferencia de obleas deben estar fabricados con materiales de alta calidad, y el granito cumple con estos criterios.
Algunas partes del sistema de transferencia de obleas que están hechas de materiales de granito incluyen:
1. Mesa de succión
La mesa de sujeción por vacío se utiliza para sujetar la oblea durante el proceso y debe tener una superficie estable para garantizar que no se dañe. El granito es un material ideal para fabricar esta mesa, ya que posee una superficie plana y no porosa que proporciona alta estabilidad y precisión. Además, el granito tiene un bajo coeficiente de dilatación térmica, lo que lo hace resistente a los cambios de temperatura que podrían provocar variaciones dimensionales en la oblea.
2. Etapa de cojinete de aire
La plataforma de cojinetes de aire se utiliza para transportar la oblea a través de las diferentes etapas del proceso de fabricación. Está diseñada para proporcionar un movimiento sin fricción, lo que exige alta precisión y estabilidad. En esta aplicación se utiliza granito por ser una piedra rígida y dura, que resiste la deformación y el desgaste con el paso del tiempo.
3. Guías de movimiento lineal
Las guías de movimiento lineal se utilizan para guiar la plataforma de cojinetes de aire y deben posicionarse con precisión para minimizar los errores. El granito se utiliza para fabricar estas guías debido a su excelente estabilidad y resistencia mecánica. Además, este material es resistente a la corrosión, lo que garantiza la durabilidad del sistema de guías.
4. Equipos de metrología
El equipo de metrología se utiliza para medir las dimensiones y propiedades de la oblea durante el proceso de fabricación. El granito es un material ideal para la construcción de este equipo debido a su alta rigidez, baja expansión y mínima deformación bajo carga. Además, la estabilidad térmica del granito garantiza que el equipo de metrología se mantenga estable y preciso a lo largo del tiempo.
En conclusión, la industria de semiconductores depende de la precisión, y los materiales de granito han demostrado ser altamente fiables y estables en el proceso de fabricación. Dado que muchos componentes críticos del sistema de transferencia de obleas requieren alta estabilidad, precisión y baja dilatación térmica, los ingenieros han recurrido a los materiales de granito para cumplir con estos requisitos esenciales.
Fecha de publicación: 19 de marzo de 2024