Los materiales de granito se utilizan ampliamente en la industria de los semiconductores debido a sus excelentes características, como alta estabilidad, baja expansión térmica y alta resistencia a la corrosión.Estas propiedades hacen del granito un material ideal para construir componentes de alta precisión en un sistema de transferencia de obleas.
En el proceso de fabricación de semiconductores, el sistema de transferencia de obleas desempeña un papel fundamental en el transporte de obleas a través de diferentes etapas del proceso de fabricación.La precisión y la exactitud son requisitos esenciales para estos sistemas, ya que incluso pequeñas desviaciones podrían poner en peligro todo el proceso.Por lo tanto, los componentes del sistema de transferencia de obleas deben estar fabricados con materiales de alta calidad y el granito cumple con esos criterios.
Algunas partes del sistema de transferencia de obleas que están hechas de materiales de granito incluyen:
1. Mesa de mandril de vacío
La mesa de sujeción al vacío se utiliza para sujetar la oblea durante el proceso y debe tener una superficie estable para garantizar que la oblea no se dañe.El granito es un material ideal para realizar esta mesa porque tiene una superficie plana y no porosa que proporciona alta estabilidad y precisión.Además, el granito tiene un bajo coeficiente de expansión térmica, lo que lo hace resistente a los cambios de temperatura que podrían provocar cambios dimensionales en la oblea.
2. Etapa de transporte de aire
La etapa de transporte de aire se utiliza para transportar la oblea a través de diferentes etapas del proceso de fabricación.El escenario está diseñado para proporcionar un movimiento sin fricción, lo que requiere alta precisión y estabilidad.El granito se utiliza en esta aplicación porque es una piedra rígida y dura, y resiste la deformación y el desgaste con el tiempo.
3. Guías de movimiento lineal
Las guías de movimiento lineal se utilizan para guiar la plataforma de soporte de aire y deben colocarse con precisión para minimizar errores.Se utiliza granito para construir esta guía porque tiene una excelente estabilidad mecánica y resistencia.El material también es resistente a la corrosión, lo que garantiza la longevidad del sistema de guía.
4. Equipos de metrología
Se utilizan equipos de metrología para medir las dimensiones y propiedades de la oblea durante el proceso de fabricación.El granito es un material ideal para construir este equipo porque tiene alta rigidez, baja expansión y mínima deformación bajo carga.Además, la estabilidad térmica del granito garantiza que los equipos de metrología se mantengan estables y precisos en el tiempo.
En conclusión, la industria de los semiconductores depende de la precisión y la exactitud, y los materiales de granito han demostrado ser muy fiables y estables en el proceso de fabricación.Dado que muchos componentes críticos en el sistema de transferencia de obleas requieren alta estabilidad, precisión y baja expansión térmica, los ingenieros han recurrido a materiales de granito para cumplir con estos requisitos críticos.
Hora de publicación: 19-mar-2024