El granito se utiliza ampliamente en la industria de semiconductores gracias a sus excelentes características, como alta estabilidad, baja expansión térmica y alta resistencia a la corrosión. Estas propiedades lo convierten en un material ideal para la fabricación de componentes de alta precisión en sistemas de transferencia de obleas.
En el proceso de fabricación de semiconductores, el sistema de transferencia de obleas desempeña un papel fundamental en el transporte de las mismas a través de las diferentes etapas del proceso. La precisión y la exactitud son requisitos esenciales para estos sistemas, ya que incluso pequeñas desviaciones podrían poner en peligro todo el proceso. Por lo tanto, los componentes del sistema de transferencia de obleas deben fabricarse con materiales de alta calidad, y el granito cumple con estos criterios.
Algunas partes del sistema de transferencia de obleas que están hechas de materiales de granito incluyen:
1. Mesa de mandril de vacío
La mesa de sujeción al vacío se utiliza para sujetar la oblea durante el proceso y debe tener una superficie estable para evitar daños. El granito es un material ideal para fabricar esta mesa, ya que su superficie plana y no porosa proporciona alta estabilidad y precisión. Además, el granito tiene un bajo coeficiente de expansión térmica, lo que lo hace resistente a los cambios de temperatura que podrían causar cambios dimensionales en la oblea.
2. Etapa de cojinetes de aire
La plataforma neumática se utiliza para transportar la oblea a través de las diferentes etapas del proceso de fabricación. Está diseñada para proporcionar un movimiento sin fricción, lo que requiere alta precisión y estabilidad. El granito se utiliza en esta aplicación por ser una piedra rígida y dura, resistente a la deformación y al desgaste con el tiempo.
3. Guías de movimiento lineal
Las guías de movimiento lineal se utilizan para guiar la plataforma neumática y deben posicionarse con precisión para minimizar errores. El granito se utiliza para construir estas guías debido a su excelente estabilidad mecánica y resistencia. Además, este material es resistente a la corrosión, lo que garantiza la longevidad del sistema de guías.
4. Equipos de metrología
Los equipos de metrología se utilizan para medir las dimensiones y propiedades de la oblea durante el proceso de fabricación. El granito es un material ideal para la construcción de estos equipos debido a su alta rigidez, baja expansión y mínima deformación bajo carga. Además, la estabilidad térmica del granito garantiza que el equipo de metrología se mantenga estable y preciso a lo largo del tiempo.
En conclusión, la industria de semiconductores se basa en la precisión y exactitud, y el granito ha demostrado ser altamente confiable y estable en el proceso de fabricación. Dado que muchos componentes críticos del sistema de transferencia de obleas requieren alta estabilidad, precisión y baja expansión térmica, los ingenieros han recurrido al granito para cumplir con estos requisitos críticos.
Hora de publicación: 19 de marzo de 2024