El lecho de granito es un componente importante en diversos dispositivos semiconductores. Como material altamente estable y rígido, el granito se utiliza ampliamente como base para equipos de procesamiento de semiconductores. Se caracteriza por su bajo coeficiente de dilatación térmica, alta estabilidad dimensional y excelentes propiedades mecánicas. Gracias a estas propiedades, el lecho de granito se utiliza con mayor frecuencia en tres tipos diferentes de dispositivos semiconductores: equipos de metrología, equipos de litografía y equipos de inspección.
Los equipos de metrología se utilizan para medir y detectar las dimensiones críticas de los dispositivos semiconductores. Desempeñan un papel fundamental en el mantenimiento de la calidad y la consistencia del proceso de fabricación de semiconductores. Estos equipos incluyen instrumentos como microscopios ópticos, microscopios electrónicos y microscopios de fuerza atómica (AFM). Dado que el rendimiento de estos instrumentos de medición depende de su estabilidad, precisión y resistencia a las vibraciones, el granito es la opción ideal para su lecho. La uniformidad y la estabilidad del lecho de granito proporcionan una plataforma estable para los instrumentos, lo que mejora su precisión y fiabilidad.
El equipo de litografía se utiliza para crear los patrones de los microchips en la oblea. El proceso de litografía requiere un alto nivel de precisión para crear circuitos complejos y mejorar el rendimiento del chip. El equipo de litografía incluye sistemas de stepper y escáner que utilizan luz para transferir imágenes a la oblea. Dado que el proceso de litografía es muy sensible a las vibraciones y a los cambios térmicos, una plataforma de alta calidad es esencial para garantizar la estabilidad y la repetibilidad del proceso. Las plataformas de granito proporcionan la estabilidad necesaria y una excelente amortiguación de vibraciones para los sistemas de litografía. La plataforma de granito permite que el sistema de stepper o escáner mantenga relaciones espaciales precisas, lo que garantiza una alta precisión y la calidad del producto final.
Se utiliza equipo de inspección para detectar defectos en los dispositivos semiconductores. Este equipo incluye sistemas como microscopios láser de barrido, microscopios electrónicos y microscopios ópticos. Dado que estos dispositivos deben ser altamente precisos, estables y resistentes a las vibraciones, las camas de granito son el material ideal. Las propiedades mecánicas y la estabilidad dimensional del granito contribuyen al aislamiento de vibraciones, lo que mejora la precisión de los resultados de la inspección.
En conclusión, el lecho de granito es fundamental para la industria de semiconductores y se utiliza ampliamente en diversos tipos de equipos. Sus propiedades únicas, como la estabilidad dimensional, el bajo coeficiente de dilatación térmica y la excelente estabilidad mecánica, convierten al granito en la opción ideal como material de lecho para equipos de semiconductores. Dado que el lecho de granito de alta calidad proporciona la estabilidad, la precisión y la resistencia a las vibraciones necesarias para los equipos de semiconductores, mejora la calidad del producto final. Por lo tanto, el uso del lecho de granito en equipos de semiconductores continuará sin duda durante muchos años.
Fecha de publicación: 3 de abril de 2024