El lecho de granito es un componente importante en varios dispositivos semiconductores. Como material altamente estable y rígido, el granito se utiliza ampliamente como base para el equipo de procesamiento de semiconductores. Se caracteriza por su bajo coeficiente de expansión térmica, estabilidad de alta dimensión y excelentes propiedades mecánicas. Debido a estas propiedades, el lecho de granito se usa más comúnmente en tres tipos diferentes de dispositivos semiconductores: equipos de metrología, equipos de litografía y equipos de inspección.
El equipo de metrología se utiliza para medir y detectar las dimensiones críticas de los dispositivos semiconductores. Desempeña un papel crucial en el mantenimiento de la calidad y consistencia del proceso de fabricación de semiconductores. El equipo de metrología incluye instrumentos como microscopios ópticos, microscopios electrónicos y microscopios de fuerza atómica (AFMS). Dado que el rendimiento de estos instrumentos de medición depende de su estabilidad, precisión y resistencia a la vibración, el granito es la opción ideal para el material de su cama. La uniformidad y la estabilidad del lecho de granito proporcionan una plataforma estable para los instrumentos, lo que mejora su precisión y confiabilidad.
El equipo de litografía se usa para hacer los patrones de microchip en la oblea. El proceso de litografía requiere un alto nivel de precisión y precisión para crear circuitos complejos y mejorar el rendimiento de los chips. El equipo de litografía incluye sistemas paso a paso y escáner que usan luz para transferir imágenes a la oblea. Como el proceso de litografía es altamente sensible a la vibración y los cambios térmicos, un lecho de alta calidad es esencial para garantizar la estabilidad y la repetibilidad del proceso de litografía. Los lechos de granito proporcionan la estabilidad requerida y el estricto rendimiento de amortiguación de vibración para los sistemas de litografía. El lecho de granito permite que el sistema paso a paso o escáner mantenga relaciones espaciales precisas, lo que garantiza una alta precisión y la calidad final del producto.
El equipo de inspección se utiliza para detectar cualquier defecto en los dispositivos semiconductores. El equipo de inspección incluye sistemas como microscopios de barrido láser, microscopios electrónicos y microscopios ópticos. Con la necesidad de que estos dispositivos sean altamente precisos, estables y resistentes a la vibración, las camas de granito son el material perfecto. Las propiedades mecánicas de Granite y la estabilidad dimensional ayudan en el aislamiento de la vibración, lo que mejora la precisión de la salida del equipo de inspección.
En conclusión, el lecho de granito es crucial para la industria de semiconductores y se utiliza ampliamente en diferentes tipos de equipos. Sus propiedades únicas, como la estabilidad dimensional, el bajo coeficiente de expansión térmica y la excelente estabilidad mecánica hacen que el granito sea la opción ideal para el material de la cama de los equipos de semiconductores. Como el lecho de granito de alta calidad proporciona la estabilidad necesaria, la precisión y la resistencia a la vibración al equipo de semiconductores, finalmente mejora la calidad del producto final. Por lo tanto, el uso de la cama de granito en el equipo de semiconductores seguramente continuará en los próximos años.
Tiempo de publicación: ABR-03-2024