Módulo de movimiento de ultraprecisión con flotador de aire de un solo eje: base de fundición de granito para una excelente precisión.

En la vanguardia de la fabricación de precisión y la investigación científica, la demanda de control de movimiento de ultraprecisión aumenta día a día. Como equipo clave para lograr un movimiento lineal de alta precisión, el rendimiento del módulo de flotación neumática de un solo eje de ultraprecisión afecta directamente la calidad del producto final y la precisión de los resultados de la investigación científica. Entre los muchos factores influyentes, el uso de una base de granito le otorga una ventaja inigualable y se convierte en el elemento clave para garantizar una excelente precisión.
Tras millones de años de cambios geológicos, el granito presenta una estructura interna extremadamente densa y uniforme. Está compuesto principalmente de cuarzo, feldespato y otros minerales, lo que le confiere excelentes propiedades físicas. Al utilizarse como base de un módulo de movimiento de ultraprecisión de flotación neumática de un solo eje, el granito demuestra una estabilidad excepcional. En comparación con las bases metálicas comunes, las bases de granito presentan una mayor resistencia a la deformación ante perturbaciones ambientales externas, como fluctuaciones de temperatura y vibraciones mecánicas. En la fabricación de chips electrónicos, se requiere una precisión de posicionamiento de la litografía de chips a nivel nanométrico. En el taller de producción, la vibración generada por el funcionamiento de equipos de gran tamaño y las ligeras variaciones de temperatura ambiente pueden afectar la precisión de movimiento del equipo litográfico. El módulo de movimiento de ultraprecisión de flotación neumática de un solo eje con base de granito puede atenuar eficazmente las vibraciones externas y reducir la amplitud de vibración transmitida al módulo de movimiento en más de un 80 %. Al mismo tiempo, su coeficiente de expansión térmica extremadamente bajo hace que el tamaño de la base cambie muy poco cuando cambia la temperatura, lo que garantiza que el módulo de movimiento flotante de aire aún pueda mantener una precisión de movimiento estable en un entorno complejo, proporcionando una base de posicionamiento precisa para la litografía de chips y mejorando en gran medida el rendimiento de la fabricación de chips.

Además, el granito presenta una buena resistencia al desgaste. En el proceso de movimiento alternativo frecuente del módulo de flotación neumática uniaxial de ultraprecisión, aunque existe un soporte de película de gas entre la corredera del flotador y la base, el uso prolongado inevitablemente producirá cierto grado de fricción. La base de granito, con sus características de alta dureza, puede resistir eficazmente el desgaste causado por esta fricción y prolongar la vida útil del módulo de movimiento. En los laboratorios de investigación científica de las universidades, el equipo experimental utilizado para la detección de micropartículas requiere que el módulo de movimiento de ultraprecisión de flotación neumática uniaxial funcione de forma estable durante un largo tiempo para obtener una gran cantidad de datos experimentales precisos. La alta resistencia al desgaste de la base de granito garantiza que la precisión del módulo de movimiento se mantenga en el nivel inicial de alta precisión después de un largo tiempo de uso, lo que proporciona una garantía confiable para la continuidad y precisión del trabajo de investigación científica y ayuda a los investigadores a explorar en profundidad el misterio del mundo microscópico.
El módulo de movimiento de ultraprecisión de flotador neumático de un solo eje con base de granito es como un "navegador" preciso para la fabricación de precisión y la investigación científica. La base de granito, con su excelente estabilidad y resistencia al desgaste, proporciona un soporte sólido para el movimiento de alta precisión del módulo de movimiento de flotador neumático. En la fabricación de semiconductores, la fabricación de instrumentos ópticos, la investigación científica de alta gama y muchos otros requisitos de precisión del sector, desempeña un papel fundamental, impulsando la industria hacia una mayor precisión y calidad.