En la industria de semiconductores, la inspección de obleas es fundamental para garantizar la calidad y el rendimiento del chip, y la precisión y estabilidad de la mesa de inspección son cruciales para los resultados de la detección. La base de granito, con sus características únicas, se convierte en la opción ideal para la mesa de inspección de obleas de semiconductores. El análisis multidimensional es para usted.
En primer lugar, la dimensión de garantía de precisión
1. Planitud y rectitud ultraaltas: La base de granito se procesa con tecnología avanzada, lo que permite una planitud de ±0,001 mm/m o incluso mayor, y la rectitud también es excelente. En el proceso de inspección de obleas, el plano de alta precisión proporciona un soporte estable para la oblea y garantiza un contacto preciso entre la sonda del equipo de inspección y las uniones soldadas de la superficie de la oblea.
2. Coeficiente de expansión térmica muy bajo: la fabricación de semiconductores es sensible a los cambios de temperatura, y el coeficiente de expansión térmica del granito es extremadamente bajo, generalmente de alrededor de 5 × 10⁻⁶/℃. Cuando la plataforma de detección está en funcionamiento, incluso si la temperatura ambiente fluctúa, el tamaño de la base de granito varía muy poco. Por ejemplo, en un taller de alta temperatura en verano, la temperatura de la plataforma de detección con base metálica común puede provocar un desplazamiento de la posición relativa de la oblea y el equipo de detección, lo que afecta la precisión de la detección. La plataforma de detección con base de granito mantiene la estabilidad, garantiza la precisión de la posición relativa de la oblea y el equipo de detección durante el proceso de detección y proporciona un entorno estable para una detección de alta precisión.
En segundo lugar, la dimensión de estabilidad
1. Estructura estable y resistencia a las vibraciones: Tras millones de años de procesos geológicos, el granito presenta una estructura interna densa y uniforme. En el complejo entorno de una fábrica de semiconductores, la vibración generada por el funcionamiento de los equipos periféricos y el personal que circula se ve eficazmente atenuada por la base de granito.
2. Precisión de uso a largo plazo: En comparación con otros materiales, el granito presenta una alta dureza y una gran resistencia al desgaste, alcanzando una dureza de Mohs de 6-7. La superficie de la base de granito no se desgasta fácilmente durante las frecuentes operaciones de carga, descarga e inspección de obleas. Según datos estadísticos, con el uso de la mesa de prueba con base de granito, tras 5000 horas de funcionamiento continuo, la precisión de planitud y rectitud se mantiene en más del 98 % de la precisión inicial. Esto reduce el desgaste de la base causado por la calibración y el mantenimiento regulares, lo que reduce los costos operativos y garantiza la estabilidad a largo plazo de las pruebas.
Tercera dimensión limpia y antiinterferente
1. Baja generación de polvo: El entorno de fabricación de semiconductores requiere una limpieza impecable, y el granito es un material estable y resistente a la formación de partículas de polvo. Durante el funcionamiento de la plataforma de pruebas, se evita que el polvo generado por la base contamine la oblea, lo que reduce el riesgo de cortocircuito y circuito abierto causados por partículas de polvo. En el área de inspección de obleas del taller libre de polvo, la concentración de polvo alrededor de la mesa de inspección con base de granito se mantiene siempre a un nivel extremadamente bajo, cumpliendo con los estrictos requisitos de limpieza de la industria de semiconductores.
2. Sin interferencias magnéticas: El equipo de detección es sensible al entorno electromagnético, y el granito es un material no magnético que no interfiere con la señal electrónica del equipo. En la detección por haz de electrones y otras tecnologías de prueba que requieren un entorno electromagnético extremadamente alto, la base de granito garantiza la transmisión estable de la señal electrónica del equipo de detección y la precisión de los resultados. Por ejemplo, al probar la oblea para garantizar un rendimiento eléctrico de alta precisión, la base de granito no magnético evita la interferencia con las señales de corriente y voltaje de detección, de modo que los datos de detección reflejen fielmente las características eléctricas de la oblea.
Hora de publicación: 31 de marzo de 2025