En la industria de semiconductores, la inspección de obleas es un paso fundamental para garantizar la calidad y el rendimiento del chip, y la precisión y la estabilidad de la mesa de inspección desempeñan un papel decisivo en los resultados de la detección. La base de granito, con sus características únicas, se convierte en la opción ideal para mesas de inspección de obleas de semiconductores. A continuación, presentamos un análisis multidimensional.
En primer lugar, la dimensión de garantía de precisión
1. Planitud y rectitud ultra altas: La base de granito se procesa mediante tecnología avanzada, logrando una planitud de ±0,001 mm/m o incluso mayor precisión, además de una rectitud excelente. Durante la inspección de obleas, la superficie de alta precisión proporciona un soporte estable y garantiza un contacto exacto entre la sonda del equipo de inspección y las juntas de soldadura.
2. Coeficiente de dilatación térmica muy bajo: la fabricación de semiconductores es sensible a los cambios de temperatura, y el coeficiente de dilatación térmica del granito es extremadamente bajo, generalmente alrededor de 5×10⁻⁶/℃. Cuando la plataforma de detección está en funcionamiento, incluso si la temperatura ambiente fluctúa, el tamaño de la base de granito cambia muy poco. Por ejemplo, en un taller con altas temperaturas en verano, la temperatura de una plataforma de detección común con base metálica puede provocar que la posición relativa de la oblea y el equipo de detección se desplace, afectando la precisión de la detección. La plataforma de detección con base de granito puede mantener la estabilidad, asegurando la precisión de la posición relativa de la oblea y el equipo de detección durante el proceso de detección, y proporcionando un entorno estable para la detección de alta precisión.
Segundo, dimensión de estabilidad
1. Estructura estable y resistencia a las vibraciones: Tras millones de años de procesos geológicos, el granito presenta una estructura interna densa y uniforme. En el complejo entorno de una fábrica de semiconductores, la base de granito atenúa eficazmente las vibraciones generadas por el funcionamiento de los equipos periféricos y el tránsito del personal.
2. Precisión de uso a largo plazo: en comparación con otros materiales, el granito posee una alta dureza y una gran resistencia al desgaste, alcanzando una dureza de 6-7 en la escala de Mohs. La superficie de la base de granito no se desgasta fácilmente durante las frecuentes operaciones de carga, descarga e inspección de obleas. Según las estadísticas de uso real, tras 5000 horas de funcionamiento continuo, la mesa de pruebas con base de granito mantiene una precisión de planitud y rectitud superior al 98% de la precisión inicial. Esto reduce la necesidad de calibración y mantenimiento periódicos debido al desgaste de la base, disminuye los costes operativos y garantiza la estabilidad a largo plazo de las pruebas.
Tercero, dimensión limpia y antiinterferencias
1. Baja generación de polvo: El entorno de fabricación de semiconductores requiere una limpieza extrema, y el granito es un material estable que no genera fácilmente partículas de polvo. Durante el funcionamiento de la plataforma de pruebas, se evita que el polvo generado por la base contamine la oblea, reduciendo así el riesgo de cortocircuitos y circuitos abiertos causados por las partículas de polvo. En la zona de inspección de obleas del taller libre de polvo, la concentración de polvo alrededor de la mesa de inspección con base de granito se mantiene siempre a un nivel extremadamente bajo, cumpliendo con los estrictos requisitos de limpieza de la industria de semiconductores.
2. Sin interferencias magnéticas: el equipo de detección es sensible al entorno electromagnético, y el granito es un material no magnético que no interfiere con la señal electrónica del equipo. En el uso de la detección por haz de electrones y otras tecnologías de prueba que requieren un entorno electromagnético extremadamente intenso, la base de granito garantiza la transmisión estable de la señal electrónica del equipo de detección y la precisión de los resultados. Por ejemplo, al probar el rendimiento eléctrico de alta precisión de una oblea, la base de granito no magnética evita la interferencia con las señales de corriente y voltaje, de modo que los datos de detección reflejen fielmente las características eléctricas de la oblea.
Fecha de publicación: 31 de marzo de 2025