El granito es un tipo de roca dura que se ha convertido en un material indispensable en la industria de fabricación de semiconductores. Sus propiedades le permiten resistir altas temperaturas, lo que lo hace ideal para su uso en varias etapas de los procesos de fabricación de dispositivos de semiconductores. Como resultado, el ensamblaje de granito ha encontrado extensas áreas de aplicación en productos de dispositivos de proceso de fabricación de semiconductores.
Una de las aplicaciones más utilizadas del ensamblaje de granito está en la construcción de estructuras de máquina herramienta de alta precisión. La rigidez y la estabilidad del granito permiten producir herramientas precisas y precisas con poca o ninguna deformación. Este nivel de precisión es necesario en los procesos de fabricación de semiconductores, como la implantación de iones, donde el haz debe dirigirse con precisión a la oblea.
Otra aplicación de ensamblaje de granito en la fabricación de semiconductores está en la construcción de equipos de metrología. El equipo de metrología es vital en los procesos de fabricación de semiconductores, ya que mide y verifica la precisión de los dispositivos que se están produciendo. La estabilidad dimensional del granito, la baja expansión térmica y las excelentes propiedades de amortiguación de vibración lo convierten en el material de elección en la construcción de equipos de metrología. Esto incluye grandes superficies de granito utilizadas en la estadificación e inspección de las obleas.
Las tablas ópticas son otra área de aplicación extensa del ensamblaje de granito en la industria de semiconductores. Las tablas ópticas se utilizan en la prueba de dispositivos ópticos como guías de onda para la comunicación de datos. La planitud del granito, la baja expansión térmica, la alta rigidez y la estabilidad mecánica le permiten proporcionar una superficie altamente estable para el montaje y el posicionamiento de la óptica. Las tablas ópticas de granito pueden proporcionar la estabilidad y la rigidez requeridas para realizar pruebas precisas y precisas de dispositivos ópticos.
Granite también encuentra la aplicación en la construcción de Wafer Chucks y etapas. Durante el proceso de fabricación de semiconductores, la alineación de precisión y el control de posición es crucial. La oblea, los Chucks, que mantienen las obleas en su lugar durante el procesamiento, deben mantener la precisión de la posición mientras resisten las altas temperaturas y las condiciones de vacío. El granito tiene una excelente estabilidad dimensional en una amplia gama de temperaturas y puede soportar condiciones de vacío, por lo que es ideal para la construcción de los chucks de la oblea. Las etapas utilizadas en el movimiento de obleas de una posición a otra pasan por una secuencia de movimientos de ciclismo durante un proceso de fabricación de semiconductores. El ensamblaje de granito proporciona estabilidad y durabilidad necesaria para soportar los ciclos de movimiento continuos y repetitivos.
En resumen, la aplicación del ensamblaje de granito en la industria de fabricación de semiconductores es vasta. Sus propiedades, como la estabilidad dimensional, la baja expansión térmica, la alta rigidez y la amortiguación de vibración, lo convierten en un material ideal para su uso en varias etapas de los procesos de fabricación de dispositivos de semiconductores. Desde la construcción de máquinas herramientas de alta precisión y equipos de metrología hasta tablas ópticas y etapas de obleas y fucks, los atributos de Granite juegan un papel crucial en la estabilidad, la precisión y la repetibilidad necesaria para lograr la fabricación de dispositivos de semiconductores de alta calidad.
Tiempo de publicación: Dic-06-2023