Campo de aplicación del módulo de movimiento de ultraprecisión de flotación neumática de un solo eje que utiliza una base de granito.

Fabricación de semiconductores: En el proceso de fabricación de chips, la fotolitografía requiere transferir con precisión el patrón del circuito a la oblea. La base de granito del módulo de movimiento de ultraprecisión flotante de un solo eje proporciona un posicionamiento de alta precisión y un soporte estable para la mesa de la oblea en el equipo de litografía. Por ejemplo, ASML y otros fabricantes de máquinas de litografía de renombre internacional utilizan módulos de movimiento flotante de base de granito en sus equipos de alta gama, que permiten controlar la precisión de posicionamiento de la oblea a nivel nanométrico para garantizar la exactitud del patrón de litografía, mejorando así la integración y el rendimiento del chip.
Campo de medición de precisión: La CMM es un equipo de medición de precisión comúnmente utilizado en la producción industrial para medir con exactitud el tamaño, la forma y la posición de las piezas. El módulo de movimiento de ultraprecisión de un solo eje con flotador neumático sobre base de granito se puede utilizar como plataforma de movimiento de la CMM, lo que permite un movimiento lineal de alta precisión y proporciona una trayectoria estable para la sonda de medición. Por ejemplo, la CMM de alta gama de Hexagon utiliza esta combinación para medir piezas grandes y complejas con una precisión de hasta el nivel micrométrico, lo que garantiza un control de calidad sólido en los sectores automotriz, aeroespacial y otros.
Sector aeroespacial: En el procesamiento y ensayo de piezas aeroespaciales, se requiere alta precisión. Por ejemplo, el mecanizado de álabes de motores de aeronaves exige un control preciso de la trayectoria de la herramienta para garantizar la exactitud del perfil del álabe. La base de granito del módulo de movimiento de ultraprecisión de flotación neumática de un solo eje se puede aplicar al centro de mecanizado de cinco ejes y otros equipos para proporcionar un control de movimiento de alta precisión a la herramienta y asegurar que la exactitud del mecanizado del álabe cumpla con los requisitos de diseño. Asimismo, en el proceso de ensamblaje del motor aeronáutico, es necesario utilizar equipos de medición de alta precisión para verificar la exactitud del ensamblaje de las piezas. El módulo de movimiento de flotación neumática con base de granito proporciona un soporte estable y un movimiento preciso para los equipos de medición, garantizando así la calidad del ensamblaje.
Campo de inspección óptica: En el proceso de fabricación y prueba de componentes ópticos, es necesario realizar un posicionamiento y medición de alta precisión. Por ejemplo, al fabricar componentes ópticos de alta precisión, como espejos y lentes, se requiere el uso de interferómetros y otros equipos para verificar la precisión de la forma de la superficie. La base de granito del módulo de movimiento de ultraprecisión flotante de un solo eje puede utilizarse como plataforma de movimiento del interferómetro, lo que permite una precisión de posicionamiento submicrométrica y proporciona datos precisos para la detección de componentes ópticos. Además, en los equipos de procesamiento láser, también es necesario utilizar una plataforma de movimiento de alta precisión para controlar la trayectoria de escaneo del haz láser. La base de granito del módulo de movimiento flotante cumple con este requisito, permitiendo un procesamiento láser de alta precisión.