Campo de aplicación del módulo de movimiento de ultraprecisión de flotación neumática de un solo eje con base de granito.

Fabricación de semiconductores: En el proceso de fabricación de chips, la fotolitografía requiere la transferencia precisa del patrón del circuito a la oblea. La base de granito del módulo de movimiento de ultraprecisión de un solo eje con flotación neumática proporciona un posicionamiento de alta precisión y un soporte estable para la mesa de la oblea en el equipo de litografía. Por ejemplo, ASML y otros fabricantes de máquinas de litografía de renombre internacional utilizan módulos de movimiento con base de granito en sus equipos de alta gama, lo que permite controlar la precisión de posicionamiento de la oblea a nivel nanométrico para garantizar la exactitud del patrón litográfico, mejorando así la integración y el rendimiento del chip.
Campo de la medición de precisión: La máquina de medición por coordenadas (MMC) es un equipo de medición de precisión comúnmente utilizado en la producción industrial para medir con exactitud el tamaño, la forma y la posición de la pieza de trabajo. El módulo de movimiento de ultraprecisión del flotador neumático de un solo eje sobre base de granito puede utilizarse como plataforma de movimiento de la MMC, lo que permite un movimiento lineal de alta precisión y proporciona una trayectoria estable para la sonda de medición. Por ejemplo, la MMC de alta gama de Hexagon utiliza esta combinación para medir piezas grandes y complejas con una precisión de hasta el nivel micrométrico, lo que garantiza un control de calidad óptimo en la industria automotriz, aeroespacial y otras.
Sector aeroespacial: En el procesamiento y las pruebas de piezas aeroespaciales, se requiere alta precisión. Por ejemplo, el mecanizado de las palas de los motores de aeronaves exige un control preciso de la trayectoria de la herramienta para garantizar la exactitud del perfil de la pala. La base de granito del módulo de movimiento de ultraprecisión de flotación neumática de un solo eje se puede aplicar a centros de mecanizado de cinco ejes y otros equipos para proporcionar un control de movimiento de alta precisión a la herramienta y garantizar que la exactitud del mecanizado de la pala cumpla con los requisitos de diseño. Asimismo, en el proceso de ensamblaje del motor aeronáutico, también es necesario utilizar equipos de medición de alta precisión para verificar la exactitud del ensamblaje de las piezas. El módulo de movimiento de flotación neumática con base de granito proporciona un soporte estable y un movimiento preciso para el equipo de medición, lo que garantiza la calidad del ensamblaje.
Campo de la inspección óptica: En el proceso de fabricación y prueba de componentes ópticos, es necesario realizar un posicionamiento y medición de alta precisión. Por ejemplo, en la fabricación de componentes ópticos de alta precisión, como espejos y lentes, se requieren interferómetros y otros equipos para detectar la exactitud de la forma de la superficie. La base de granito del módulo de movimiento de ultraprecisión de un solo eje con flotación neumática puede utilizarse como plataforma de movimiento del interferómetro, lo que permite lograr una precisión de posicionamiento submicrónica y proporciona datos precisos para la detección de componentes ópticos. Además, en los equipos de procesamiento láser, también se requiere una plataforma de movimiento de alta precisión para controlar la trayectoria de escaneo del haz láser; la base de granito del módulo de movimiento con flotación neumática cumple con este requisito, logrando así un procesamiento láser de alta precisión.