Campo de aplicación del módulo de movimiento de ultraprecisión de flotador de aire de un solo eje que utiliza base de granito.

Fabricación de semiconductores: En la fabricación de chips, el proceso de fotolitografía requiere transferir con precisión el patrón del circuito a la oblea. La base de granito del módulo de movimiento de ultraprecisión de un solo eje con flotación por aire proporciona un posicionamiento de alta precisión y un soporte estable para la mesa de la oblea en el equipo de litografía. Por ejemplo, ASML y otros fabricantes de máquinas de litografía de renombre internacional utilizan módulos de movimiento de ultraprecisión con base de granito en sus equipos de alta gama, que controlan la precisión de posicionamiento de la oblea a nivel nanométrico para garantizar la precisión del patrón litográfico, mejorando así la integración y el rendimiento del chip.
Campo de medición de precisión: La CMM es un equipo de medición de precisión comúnmente utilizado en la producción industrial, que permite medir la precisión del tamaño, la forma y la posición de las piezas de trabajo. El módulo de movimiento de ultraprecisión del flotador neumático de un solo eje sobre una base de granito puede utilizarse como plataforma de movimiento de la CMM, lo que permite un movimiento lineal de alta precisión y proporciona una trayectoria de movimiento estable para la sonda de medición. Por ejemplo, la CMM de alta gama de Hexagon utiliza esta combinación para medir piezas grandes y complejas con una precisión de hasta micras, lo que garantiza un control de calidad sólido en las industrias automotriz, aeroespacial y otras.
Sector aeroespacial: El procesamiento y las pruebas de piezas aeroespaciales requieren alta precisión. Por ejemplo, el mecanizado de álabes de motores de aviación requiere un control preciso de la trayectoria de la herramienta para garantizar la precisión del perfil. La base de granito del módulo de movimiento de ultraprecisión de flotador neumático de un solo eje se puede aplicar a centros de mecanizado de cinco ejes y otros equipos para proporcionar un control de movimiento de alta precisión a la herramienta y garantizar que la precisión de mecanizado del álabes cumpla con los requisitos de diseño. Asimismo, en el proceso de ensamblaje de motores aeronáuticos, también es necesario utilizar equipos de medición de alta precisión para detectar la precisión de ensamblaje de las piezas. El módulo de movimiento de flotador neumático con base de granito proporciona un soporte estable y un movimiento preciso al equipo de medición para garantizar la calidad del ensamblaje.
Campo de inspección óptica: En el proceso de fabricación y prueba de componentes ópticos, es necesario realizar un posicionamiento y medición de alta precisión de los componentes ópticos. Por ejemplo, al fabricar componentes ópticos de alta precisión como espejos y lentes, es necesario utilizar interferómetros y otros equipos para detectar la precisión de la forma de la superficie. La base de granito del módulo de movimiento de ultraprecisión de un solo eje con flotación de aire se puede utilizar como plataforma de movimiento del interferómetro, lo que permite alcanzar una precisión de posicionamiento submicrónica y proporcionar datos precisos para la detección de componentes ópticos. Además, en los equipos de procesamiento láser, también es necesario utilizar una plataforma de movimiento de alta precisión para controlar la trayectoria de escaneo del haz láser. La base de granito del módulo de movimiento con flotación de aire puede cumplir con este requisito para lograr un procesamiento láser de alta precisión.