¿Cuáles son los escenarios de aplicación más comunes de la plataforma de movimiento con aislamiento activo de vibraciones de precisión XYT con base de granito?

Fabricación de semiconductores
Litografía: La litografía es un proceso clave en la fabricación de semiconductores que requiere la transferencia precisa de patrones de circuitos complejos a las obleas. La plataforma de movimiento XYT con aislamiento activo de vibraciones, sobre base de granito, proporciona un soporte estable y un posicionamiento preciso para el equipo de litografía, garantizando que la precisión de posicionamiento de la mesa de obleas durante el proceso de exposición alcance el nivel nanométrico. Esto reduce eficazmente la desviación del patrón causada por vibraciones y deformaciones térmicas, y mejora la precisión de fabricación y el rendimiento del chip.

Inspección de obleas: Una vez finalizada la fabricación de las obleas, es necesario inspeccionarlas con alta precisión para detectar defectos, tanto pequeños como grandes. La plataforma de movimiento con aislamiento activo de vibraciones de precisión XYT permite transportar equipos de detección, como microscopios de haz electrónico y microscopios de fuerza atómica, para mantener un movimiento estable y un posicionamiento preciso durante el proceso de inspección. De esta forma, el equipo de detección puede escanear con exactitud la superficie de la oblea, mejorando así la resolución y la precisión de la detección.
Fabricación de instrumentos ópticos
Rectificado y pulido de lentes: En el proceso de fabricación de lentes ópticas, es necesario rectificarlas y pulirlas con alta precisión para obtener buenas propiedades ópticas. La plataforma de movimiento con aislamiento activo de vibraciones de precisión XYT controla con exactitud la trayectoria de las herramientas de rectificado y pulido, mientras que la base de granito aísla las vibraciones externas, reduciendo su impacto en la precisión del mecanizado y garantizando que la planitud y el acabado de la superficie de la lente cumplan con los requisitos de diseño.
Ensamblaje del sistema óptico: Durante el ensamblaje del sistema óptico, es necesario instalar con precisión diversos componentes ópticos en una posición específica para garantizar la propagación exacta de la luz y la calidad de la imagen. La plataforma de movimiento XYT con aislamiento activo de vibraciones y base de granito proporciona una base estable para la instalación y el ajuste de los componentes ópticos, y permite lograr una alineación y un ensamblaje de alta precisión mediante un control de movimiento preciso.
aeroespacial

Prueba del sistema de navegación inercial: El sistema de navegación inercial es un equipo fundamental en el sector aeroespacial, y su precisión influye directamente en la exactitud de la navegación y la seguridad de vuelo de la aeronave. Durante las pruebas del sistema, es necesario utilizar una plataforma giratoria de alta precisión para simular los distintos estados de movimiento de la aeronave. La plataforma de movimiento con aislamiento activo de vibraciones de precisión XYT sirve como soporte para dicha plataforma. Gracias a su control preciso del movimiento y su excelente capacidad de aislamiento de vibraciones, proporciona un entorno de movimiento estable y preciso para las pruebas del sistema de navegación inercial, mejorando así la exactitud y la fiabilidad de las mismas.
Mecanizado de álabes de motores aeronáuticos: La precisión del mecanizado de los álabes de los motores aeronáuticos influye significativamente en el rendimiento y la eficiencia del motor. La plataforma de movimiento con aislamiento activo de vibraciones de precisión XYT se puede aplicar al proceso de mecanizado de los álabes, como en centros de mecanizado de cinco ejes, controlando con precisión la trayectoria de la herramienta y manteniendo un entorno de procesamiento estable. De esta manera, se logra un mecanizado de alta precisión de los álabes, garantizando que la exactitud del perfil y la calidad superficial cumplan con los requisitos de diseño.
pruebas de investigación científica
Investigación en nanociencia: En la investigación en nanociencia, es necesario manipular y observar objetos a nanoescala, como en la preparación de nanomateriales y el ensamblaje de nanodispositivos. La plataforma de movimiento con aislamiento activo de vibraciones de precisión XYT, con base de granito, ofrece una precisión de posicionamiento submicrónica e incluso nanométrica, proporcionando una plataforma experimental estable y precisa para la investigación en nanociencia y ayudando a los científicos a explorar mejor los misterios del nanomundo.
Imagen biomédica: En el campo biomédico, para obtener imágenes biológicas de alta resolución, se requiere un posicionamiento preciso y una imagen estable de la muestra, como en la microscopía de fluorescencia, la microscopía confocal y otros dispositivos de imagen. La plataforma de movimiento con aislamiento de vibraciones activo de precisión XYT permite transportar muestras biológicas, reduciendo la vibración y la deriva gracias a un control de movimiento preciso y un excelente aislamiento de vibraciones. Esto mejora la calidad y la precisión de la imagen y ayuda a los investigadores biomédicos a realizar estudios exhaustivos de células, tejidos y otras estructuras microscópicas.