Fabricación de semiconductores
Litografía: La litografía es un proceso clave en la fabricación de semiconductores que requiere la transferencia precisa de patrones de circuitos complejos a las obleas. La plataforma de movimiento con aislamiento de vibraciones activo de precisión XYT sobre una base de granito proporciona un soporte estable y un posicionamiento preciso para el equipo de litografía, asegurando que la precisión de posicionamiento de la mesa de obleas durante el proceso de exposición alcance el nivel nanométrico, reduciendo eficazmente la desviación del patrón causada por vibraciones y deformaciones térmicas, y mejorando la precisión y el rendimiento de fabricación del chip.

Inspección de obleas: Una vez finalizada la fabricación de las obleas, es necesario inspeccionarlas con alta precisión para detectar pequeños defectos. La plataforma de movimiento con aislamiento de vibraciones activo de precisión XYT puede transportar equipos de detección, como microscopios de haz de electrones y microscopios de fuerza atómica, para mantener un movimiento estable y un posicionamiento preciso durante el proceso de detección. De esta manera, los equipos de detección pueden escanear con precisión la superficie de la oblea, mejorando la resolución y la exactitud de la detección.
Fabricación de instrumentos ópticos
Pulido y rectificado de lentes: En el proceso de fabricación de lentes ópticas, es necesario pulir y rectificar las lentes con alta precisión para obtener buenas propiedades ópticas. La plataforma de movimiento con aislamiento de vibraciones activo de precisión XYT permite controlar con exactitud la trayectoria de las herramientas de pulido y rectificado, mientras que la base de granito aísla las vibraciones externas, reduciendo su impacto en la precisión del mecanizado y garantizando que la superficie de la lente cumpla con los requisitos de diseño en cuanto a planitud y acabado.
Ensamblaje del sistema óptico: Durante el proceso de ensamblaje del sistema óptico, es necesario instalar con precisión diversos componentes ópticos en una posición específica para garantizar la propagación exacta de la luz y la calidad de la imagen. La plataforma de movimiento con aislamiento de vibraciones activo de precisión XYT, con base de granito, proporciona una plataforma estable para la instalación y el ajuste de los componentes ópticos, y permite lograr una alineación y un ensamblaje de alta precisión mediante un control de movimiento preciso.
aeroespacial

Prueba del sistema de navegación inercial: El sistema de navegación inercial es un equipo de navegación fundamental en el sector aeroespacial, y su precisión afecta directamente la exactitud de la navegación y la seguridad de vuelo de las aeronaves. Durante las pruebas del sistema de navegación inercial, es necesario utilizar una plataforma giratoria de alta precisión para simular los diferentes estados de movimiento de la aeronave. La plataforma de movimiento con aislamiento de vibraciones activo de precisión XYT puede utilizarse como soporte para la plataforma giratoria. Gracias a su control de movimiento preciso y su excelente aislamiento de vibraciones, proporciona un entorno de movimiento estable y preciso para la prueba del sistema de navegación inercial, mejorando así la exactitud y la fiabilidad de la prueba.
Mecanizado de álabes de motores aeronáuticos: La precisión del mecanizado de los álabes de los motores aeronáuticos influye significativamente en el rendimiento y la eficiencia del motor. La plataforma de movimiento con aislamiento de vibraciones activo de precisión XYT, similar a la de un centro de mecanizado de cinco ejes, permite controlar con precisión la trayectoria de la herramienta y mantener un entorno de procesamiento estable para lograr un mecanizado de alta precisión, garantizando que la exactitud del perfil y la calidad de la superficie del álabe cumplan con los requisitos de diseño.
Pruebas de investigación científica
Investigación en nanociencia: En la investigación en nanociencia, es necesario operar y observar objetos a nanoescala, como la preparación de nanomateriales y el ensamblaje de nanodispositivos. La base de granito de la plataforma de movimiento con aislamiento de vibraciones activo de precisión XYT ofrece una precisión de posicionamiento submicrométrica o incluso nanométrica, proporcionando una plataforma experimental estable y precisa para la investigación en nanociencia y ayudando a los científicos a explorar mejor los misterios del nanomundo.
Imágenes biomédicas: En el campo biomédico, para obtener imágenes biológicas de alta resolución mediante técnicas como la microscopía de fluorescencia, la microscopía confocal y otros dispositivos de imagen, es fundamental un posicionamiento preciso y una imagen estable de la muestra. La plataforma de movimiento con aislamiento de vibraciones activo de precisión XYT permite transportar muestras biológicas, reduciendo la vibración y la deriva gracias a un control de movimiento preciso y un excelente aislamiento de vibraciones. Esto mejora la calidad y la precisión de las imágenes, y ayuda a los investigadores biomédicos a realizar estudios exhaustivos sobre células, tejidos y otras estructuras microscópicas.
Fecha de publicación: 11 de abril de 2025
