Fabricación de semiconductores
Litografía: La litografía es un proceso clave en la fabricación de semiconductores que requiere la transferencia precisa de patrones de circuitos complejos a obleas. La plataforma de movimiento de aislamiento de vibraciones activo de precisión XYT, sobre una base de granito, proporciona un soporte estable y un posicionamiento preciso para el equipo de litografía, garantiza que la precisión de posicionamiento de la mesa de obleas durante el proceso de exposición alcance el nivel nanométrico, reduce eficazmente la desviación del patrón causada por la vibración y la deformación térmica, y mejora la precisión de fabricación y el rendimiento del chip.
Inspección de obleas: Tras la fabricación de las obleas, es necesario inspeccionarlas con alta precisión para detectar pequeños defectos. La plataforma de movimiento con aislamiento de vibraciones activo de precisión XYT puede incorporar equipos de detección, como microscopios de haz electrónico y de fuerza atómica, para mantener un movimiento estable y un posicionamiento preciso durante el proceso de detección, lo que permite escanear con precisión la superficie de la oblea y mejorar la resolución y la precisión de la detección.
Fabricación de instrumentos ópticos
Esmerilado y pulido de lentes: En el proceso de fabricación de lentes ópticas, es necesario esmerilar y pulir las lentes con alta precisión para obtener buenas propiedades ópticas. La plataforma de movimiento con aislamiento activo de vibraciones de precisión XYT controla con precisión la trayectoria de las herramientas de esmerilado y pulido. La base de granito aísla las vibraciones externas y reduce su impacto en la precisión del mecanizado, garantizando así que la planitud y el acabado de la superficie de la lente cumplan con los requisitos de diseño.
Ensamblaje del sistema óptico: Durante el proceso de ensamblaje del sistema óptico, es necesario instalar con precisión diversos componentes ópticos en una posición específica para garantizar la propagación precisa de la luz y la calidad de la imagen. La plataforma de movimiento de precisión XYT con aislamiento activo de vibraciones y base de granito proporciona una plataforma estable para la instalación y el ajuste de componentes ópticos, logrando una alineación y ensamblaje de alta precisión mediante un control de movimiento preciso.
aeroespacial
Prueba del sistema de navegación inercial: El sistema de navegación inercial es un equipo de navegación importante en el sector aeroespacial, y su precisión afecta directamente la precisión de la navegación y la seguridad de vuelo de las aeronaves. Durante las pruebas del sistema de navegación inercial, es necesario utilizar una plataforma giratoria de alta precisión para simular diversos estados de movimiento de la aeronave. La plataforma de movimiento de precisión con aislamiento activo de vibraciones XYT puede utilizarse como plataforma de soporte para la plataforma giratoria. Gracias a su preciso control de movimiento y a su excelente aislamiento de vibraciones, proporciona un entorno de movimiento estable y preciso para las pruebas del sistema de navegación inercial, mejorando así la precisión y la fiabilidad de las pruebas.
Mecanizado de álabes de motores aeronáuticos: La precisión del mecanizado de álabes de motores aeronáuticos influye significativamente en el rendimiento y la eficiencia del motor. La plataforma de movimiento de precisión con aislamiento activo de vibraciones XYT se puede aplicar al proceso de mecanizado de álabes, como en el centro de mecanizado de cinco ejes. Mediante el control preciso de la trayectoria de movimiento de la herramienta y el mantenimiento de un entorno de procesamiento estable, se logra un mecanizado de alta precisión de los álabes y se garantiza que la precisión del perfil y la calidad de la superficie cumplan con los requisitos de diseño.
Pruebas de investigación científica
Investigación en nanociencia: En la investigación en nanociencia, es necesario operar y observar objetos a escala nanométrica, como la preparación de nanomateriales y el ensamblaje de nanodispositivos. La base de granito de la plataforma de movimiento de precisión con aislamiento activo de vibraciones XYT puede proporcionar una precisión de posicionamiento submicrónica o incluso nanométrica, lo que proporciona una plataforma experimental estable y precisa para la investigación nanocientífica y ayuda a los científicos a explorar mejor los misterios del mundo nanométrico.
Imágenes biomédicas: En el campo biomédico, como la microscopía de fluorescencia, la microscopía confocal y otros dispositivos de imagen, para obtener imágenes biológicas de alta resolución, se requiere un posicionamiento preciso y una imagen estable de la muestra. La plataforma de movimiento de aislamiento de vibraciones activo de precisión XYT puede transportar muestras biológicas, reducir la vibración y la deriva de las muestras mediante un control de movimiento preciso y un buen aislamiento de vibraciones, mejorar la calidad y la precisión de las imágenes y ayudar a los investigadores biomédicos a realizar investigaciones exhaustivas sobre células, tejidos y otras estructuras microscópicas.
Hora de publicación: 11 de abril de 2025