¿Qué es el granito que se utiliza en los equipos de procesamiento de obleas?

El granito es un material popular en la industria de procesamiento de obleas debido a sus excepcionales propiedades mecánicas y durabilidad.Es una piedra natural que se extrae de canteras de todo el mundo y se ha utilizado durante siglos para diversos fines de construcción, incluida la fabricación de equipos semiconductores.En este artículo, analizaremos las propiedades del granito y sus diversas aplicaciones en equipos de procesamiento de obleas.

Propiedades del granito

El granito es una roca ígnea que está compuesta de mica, feldespato y cuarzo.Es conocido por su excepcional resistencia, dureza y durabilidad, lo que lo convierte en un material ideal para aplicaciones que requieren alta precisión y exactitud.El granito tiene un bajo coeficiente de expansión térmica, lo que significa que no se expande ni se contrae debido a los cambios de temperatura, lo que lo hace muy estable.Además, el granito es resistente a la corrosión y a los productos químicos, lo que lo convierte en un material ideal para su uso en entornos hostiles.

Aplicaciones del granito en equipos de procesamiento de obleas

El granito es un material ampliamente utilizado en la industria de procesamiento de obleas debido a su combinación única de propiedades.Las siguientes son algunas de las aplicaciones del granito en equipos de procesamiento de obleas:

1. Herramientas de metrología

El granito se utiliza comúnmente en la fabricación de herramientas de metrología, como máquinas de medición de coordenadas (MMC) y sistemas de medición óptica.Estas herramientas requieren superficies estables que puedan resistir vibraciones y calor.La alta rigidez y la baja expansión térmica del granito lo convierten en un material ideal para este tipo de aplicaciones.

2. Mandriles para oblea

Los portaobbleas se utilizan para sujetar las obleas durante el proceso de fabricación.Estos mandriles requieren una superficie plana y estable para evitar que la oblea se deforme o doble.El granito proporciona una superficie plana muy estable y resistente a la deformación, lo que lo convierte en un material excelente para portabrocas.

3. Herramientas de pulido mecánico químico (CMP)

Las herramientas CMP se utilizan para pulir obleas durante el proceso de fabricación.Estas herramientas requieren una plataforma estable que pueda resistir vibraciones y calor.La excelente rigidez y la baja expansión térmica del granito lo convierten en un material ideal para las herramientas CMP.

4. Equipo de inspección de obleas

El equipo de inspección de obleas se utiliza para inspeccionar las obleas en busca de defectos y fallas.Estas herramientas requieren una superficie estable y plana para garantizar mediciones precisas.El granito proporciona una superficie estable y plana resistente a la deformación, lo que lo convierte en un material ideal para equipos de inspección de obleas.

Conclusión

En conclusión, el granito es un material muy utilizado en la industria procesadora de obleas debido a sus excepcionales propiedades mecánicas y durabilidad.Se utiliza comúnmente en la fabricación de herramientas de metrología, mandriles de obleas, herramientas CMP y equipos de inspección de obleas.La combinación única de propiedades lo convierte en un material ideal para aplicaciones que requieren alta precisión y exactitud.Con sus numerosos beneficios, el granito sigue siendo una opción popular para los equipos de procesamiento de obleas y es probable que su uso siga creciendo en el futuro.

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Hora de publicación: 27 de diciembre de 2023