♦ Alúmina (Al2O3)
Las piezas de cerámica de precisión producidas por Zhonghui Intelligent Manufacturing Group (Zhhimg) pueden estar hechas de materias primas cerámicas de alta pureza, 92 ~ 97% de alúmina, 99.5% de alúmina,> 99.9% de alúmina y presión isostática fría CIP. Sinterización de alta temperatura y mecanizado de precisión, precisión dimensional de ± 0.001 mm, suavidad hasta RA0.1, use la temperatura hasta 1600 grados. Se pueden hacer diferentes colores de cerámica de acuerdo con los requisitos de los clientes, tales como: negro, blanco, beige, rojo oscuro, etc. Las piezas de cerámica de precisión producidas por nuestra empresa son resistentes a la alta temperatura, corrosión, desgaste y aislamiento, y pueden usarse durante mucho tiempo en un entorno de gases de alta temperatura, vacío y gases corrosivos.
Ampliamente utilizado en una variedad de equipos de producción de semiconductores: marcos (soporte de cerámica), sustrato (base), brazo/ puente (manipulador), componentes mecánicos y cojinete de aire cerámico.
| Nombre del producto | Tubo / tubería cuadrada de cerámica de alta pureza 99 | |||||
| Índice | Unidad | 85 % AL2O3 | 95 % AL2O3 | 99 % AL2O3 | 99.5 % AL2O3 | |
| Densidad | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Absorción de agua | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| Temperatura sinterizada | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Dureza | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Fuerza de flexión (20 ℃)) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Resistencia a la compresión | KGF/CM2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Temperatura de trabajo desde hace mucho tiempo | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Max. Temperatura de trabajo | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Resistividad de volumen | 20 ℃ | Ω. CM3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
| 100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 | ||
Aplicación de cerámica de alúmina de alta pureza:
1. Aplicado al equipo de semiconductores: chuck de vacío de cerámica, disco de corte, disco de limpieza, chuck de cerámica.
2. Piezas de transferencia de obleas: manipulación de obleas, discos de corte de obleas, discos de limpieza de obleas, tazas de succión de inspección óptica de obleas.
3. Industria de pantalla de panel plano LED / LCD: boquilla de cerámica, disco de molienda de cerámica, alfiler de elevación, riel de alfiler.
4. Comunicación óptica, industria solar: tubos de cerámica, varillas de cerámica, impresión de pantalla de la placa de circuito raspadores de cerámica.
5. Piezas resistentes al calor y aislantes eléctricamente: rodamientos de cerámica.
En la actualidad, la cerámica de óxido de aluminio se puede dividir en alta pureza y cerámica común. La serie de cerámica de óxido de aluminio de alta pureza se refiere al material cerámico que contiene más de 99.9% al₂o₃. Debido a su temperatura de sinterización de hasta 1650 - 1990 ° C y su longitud de onda de transmisión de 1 ~ 6 μm, generalmente se procesa en vidrio fusionado en lugar de crisol de platino: que se puede usar como tubo de sodio debido a su transmitancia de luz y resistencia a la corrosión al metal alcalino. En la industria electrónica, se puede utilizar como material aislante de alta frecuencia para sustratos IC. Según diferentes contenidos de óxido de aluminio, la serie de cerámica de óxido de aluminio común se puede dividir en 99 cerámicas, 95 cerámicas, 90 cerámicas y 85 cerámicas. A veces, la cerámica con 80% o 75% de óxido de aluminio también se clasifica como series de cerámica de óxido de aluminio común. Entre ellos, se usa 99 materiales cerámicos de óxido de aluminio para producir un tubo de horno de crisol de alta temperatura y crisol de fuego y materiales especiales resistentes al desgaste, como cojinetes de cerámica, focas de cerámica y placas de válvulas. 95 La cerámica de aluminio se usa principalmente como parte resistente al desgaste resistente a la corrosión. 85 cerámica a menudo se mezcla en algunas propiedades, mejorando así el rendimiento eléctrico y la resistencia mecánica. Puede usar molibdeno, niobio, tantalio y otros sellos de metal, y algunos se usan como dispositivos de vacío eléctrico.
| Artículo de calidad (valor representativo) | Nombre del producto | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Composición química Producto fácil de sinterización | H₂o | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Jajaja | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| Sio₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| Na₂o | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| MgO* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Diámetro de partícula media (MT-3300, método de análisis láser) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| Tamaño de cristal α | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| Densidad de formación ** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Densidad de sinterización ** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Tasa de reducción de la línea de sinterización ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* El MGO no está incluido en el cálculo de la pureza de Al₂o₃.
* Sin polvo de escala 29.4MPA (300 kg/cm²), la temperatura de sinterización es de 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: agregue 0.05 ~ 0.1% MgO, la sinterabilidad es excelente, por lo que es aplicable a la cerámica de óxido de aluminio con la pureza de más del 99%.
AES-22S: caracterizado por una alta densidad de formación y baja tasa de reducción de la línea de sinterización, es aplicable a la fundición de forma y otros productos a gran escala con precisión dimensional requerida.
AES-23 / AES-31-03: Tiene una mayor densidad de formación, tixotropía y una viscosidad más baja que AES-22S. El primero se usa para la cerámica, mientras que el segundo se usa como reductor de agua para los materiales de reducción de fuego, ganando popularidad.
♦ Características de carburo de silicio (sic)
| Características generales | Pureza de los componentes principales (%en peso) | 97 | |
| Color | Negro | ||
| Densidad (g/cm³) | 3.1 | ||
| Absorción de agua (%) | 0 | ||
| Características mecánicas | Resistencia a la flexión (MPA) | 400 | |
| Young Modulus (GPA) | 400 | ||
| Dureza de Vickers (GPA) | 20 | ||
| Características térmicas | Temperatura de funcionamiento máxima (° C) | 1600 | |
| Coeficiente de expansión térmica | RT ~ 500 ° C | 3.9 | |
| (1/° C x 10-6) | RT ~ 800 ° C | 4.3 | |
| Conductividad térmica (W/m x K) | 130 110 | ||
| Resistencia de choque térmico ΔT (° C) | 300 | ||
| Características eléctricas | Resistividad de volumen | 25 ° C | 3 x 106 |
| 300 ° C | - | ||
| 500 ° C | - | ||
| 800 ° C | - | ||
| Constante dieléctrica | 10GHz | - | |
| Pérdida dieléctrica (x 10-4) | - | ||
| Factor Q (x 104) | - | ||
| Voltaje de descomposición dieléctrica (KV/mm) | - | ||
♦ Cerámica de nitruro de silicio
| Material | Unidad | Si₃n₄ |
| Método de sinterización | - | Presión de gas sinterizada |
| Densidad | g/cm³ | 3.22 |
| Color | - | Gris oscuro |
| Tasa de absorción de agua | % | 0 |
| Módulo joven | GPA | 290 |
| Dureza de Vickers | GPA | 18 - 20 |
| Resistencia a la compresión | MPA | 2200 |
| Fuerza de flexión | MPA | 650 |
| Conductividad térmica | W/mk | 25 |
| Resistencia a choque térmico | Δ (° C) | 450 - 650 |
| Temperatura máxima de funcionamiento | ° C | 1200 |
| Resistividad de volumen | Ω · cm | > 10 ^ 14 |
| Constante dieléctrica | - | 8.2 |
| Resistencia dieléctrica | KV/mm | 16 |