Los sistemas de cojinetes de aire de granito se utilizan ampliamente enultraprecisiónPlataformas de movimiento para la fabricación de semiconductores, alineación óptica y metrología a escala nanométrica.
Estos sistemas eliminan el contacto mecánico mediante el uso de una fina película de aire a presión, logrando un movimiento con una fricción prácticamente nula.
Principio de cojinete de aire
Los cojinetes de aire funcionan introduciendo aire comprimido entre dos superficies, formando una película de aire de 2 a 20 μm.
Esto elimina:
- fricción mecánica
- Tener puesto
- Comportamiento de adherencia-deslizamiento
El sistema se basa en la dinámica de la película fluida y en un flujo laminar estable.
El papel del granito
El granito proporciona:
- Estabilidad estructural
- supresión de la deriva térmica
- Amortiguación de vibraciones
Sirve como base de referencia mecánica para el sistema de movimiento.
Componentes del sistema
- Base de granito
- almohadillas de cojinetes de aire
- Sistema de suministro de aire
- Codificadores de precisión
- Sistema de control de movimiento
Características de rendimiento
El rendimiento típico incluye:
- Precisión de posicionamiento submicrométrica
- Gran rectitud en recorridos largos
- Juego mecánico nulo
Entre las principales fuentes de error se incluyen la inestabilidad de la presión del aire, la deriva térmica y el error del codificador.
Aplicaciones
- Inspección de obleas semiconductoras
- Sistemas de litografía
- Plataformas de alineación óptica
- Máquinas de metrología de alta gama
Preguntas frecuentes
¿Se desgastan los cojinetes de aire?
La ausencia de contacto mecánico elimina el desgaste.
¿Por qué usar granito?
Para mayor estabilidad y amortiguación de vibraciones.
¿Qué limita la precisión?
Estabilidad del aire y efectos térmicos.
¿Pueden transportar cargas pesadas?
Sí, dependiendo del diseño.
Fecha de publicación: 3 de julio de 2026